百级无尘室之的意事项.pptVIP

百级无尘室之注意事项 主要内容 产品对无尘室的要求 Contents 二.百级无尘室的构造 三.百级无尘室的污染源分析 四百级无尘室污染源防护 五百级无尘室清洁和维护 A产品对无尘室的要求二 检验项目 检验基准 法将分类 5寸或 点状类缺陷〖规格(:m)允许效量规格(串:m 外观粉验的 中0.15不计,使40.15 非密集 黑、白点,异0.1540.22.非密集0.150.22,非梨 物点,污点_024≤0.25 非密集0.2≤0.32,非密 5寸以下:≤0.2m,允许2个,非密集 5寸及以上:中≤0.25m,允许2个,非密集 TP气泡与贴合气泡均适用 美国联邦209D标准的洁净室分级 分级限值所标粒径 等于或大于所标粒径,以微米计 产品对无尘室的要求 缺陷分类 检验瑗目 验基准 求缺轻缺 下 5寸以 5寸及以上 度允许数量(1:m :m)(W:m) :mn)元许致量 不计,非密 不限W≤0.01 线状类缺陷 L≤40.01≤2,间距大 ≤40.01≤2.问即大 点亮情过 于15m 下的萬线、亮 0.03≤ L≤2 2,间距大 线、条状异物 05于15m 按点不良L≤2 0.D.5W 线宽超过01按点不良计算 百级无尘室的构造 彩钢板至楼底板 皿 100级无尘空 防雨百叶