真空中における電界電子放出箇所の分布測定と局所電界電子..ppt

真空中における電界電子放出箇所の分布測定と局所電界電子放出特性の調査 高石　朗　（埼玉大学） はじめに 2 JT-60* 核融合炉実現のための超高温プラズマ試験を行う目的で 日本原子力研究開発機構(JAEA)によって導入された臨界プラズマ試験装置 NBI:Neutral Beam Injector 次世代機へ Fusion plasma Negative ion source （負イオン源） Beam line NBI Neutralize Toroidal coil JT-60 vacuum chamber JT-60 (Japan Torus -60) はじめに 3 加速電極部に高電圧印加 ⇒ 加速電極部において真空中絶縁破壊発生 （ビーム性能を制限する主要因） 孔1080個 110cm 45cm 無酸素銅 負イオン生成部 陰極孔近傍の高電界領域より放出される電界電子放出電流が絶縁破壊の要因であると考えられている 真空中絶縁破壊メカニズム 4 電界電子放出 吸着・吸蔵ガスの脱離 クランプの脱離 真空中絶縁破壊の要因 真空中絶縁破壊素過程 孔1080個 110cm 45cm 目的 1 2 3 4 5 Grid Support 真空中絶縁破壊は局所的な箇所で発生　⇒　より局所的な電界電子放出現象の調査が必要 陰極 陽極 160mm 80mm 160mm 80mm 陰極：4孔電極 陽極：平板電極 平板状小型無酸素銅電極を用いて電界電子放出箇所の分布を調査し，個々の放出箇所における電界電子放出特性を取得することを目的とした。 目的 5 真空 実験装置および試料電極 1 2 3 4 5 Grid Support 6 無酸素銅(加速電極と同材料) 全体の直径：25mm 平板部直径：9mm 10カ月大気中保管 6時間のコンディショニング 9mm 放出型電子顕微鏡 1 2 3 4 5 Grid Support 7 放出型電子顕微鏡　：　電界電子放出の様相を像として取得する顕微鏡 放出型電子顕微鏡の対物レンズの中間電極を利用して電界電子放出箇所の分布を取得し，個々の放出箇所において電界電子放出特性を取得した 実験方法 1 2 3 4 5 Grid Support 8 陰極全体からの電界放出電流の測定 電界電子放出箇所の分布の測定 仕事関数を4.7[eV]と仮定してβ，Aeを算出 ギャップ長：0.6mm 測定回路1 9mm 9mm 放出型電子顕微鏡に対して，試料を平行に0.5mmのステップで走査 バイアス電圧：88.5 V 0.5mm×0.5mm間隔で電流を測定 試料電極の中心を基準に9mm×9mmの範囲を測定 ギャップ長：0.6mm 測定回路2 実験方法 1 2 3 4 5 Grid Support 9 電子放出像の取得 光電子放出電子顕微鏡（PEEM）モード 　　紫外線を照射して光電子放出された電子による光電子放出像 電界電子放出電子顕微鏡（FEEM）モード 　　試料電極から電界電子放出された電子による電界電子放出像 光電子放出－電界電子放出電子顕微鏡（PFEM)モード 　　電界電子放出像と光電子放出像の同時観測 ギャップ長：0.9mm メッシュ電極 PEEM像 SEM像 Fowler-Nordheim理論 1 2 3 4 5 Grid Support 10 ～F-Nプロット～ 金属微小突起 MIV構造 MIM構造 電界電子放出モデル Rodney V Latham： “High Voltage Vacuum Insulation： Basic Concepts and Technological Practice”,p.118(1995) β：電界増倍係数 d[m]：電極間隔 φ[ev]：電子放出箇所の仕事関数 Ae：電子放出面積 結果 1 2 3 4 5 Grid Support 11 陰極全体からの電界放出電流 V-I特性 F-Nプロット V-I特性，F-Nプロット共に，印加電圧上昇時と印加電圧下降時を比較してばらつきが少なく，電界電子放出特性は安定した状態である β=960 Ae= 2.7×10-3 結果 1 2 3 4 5 Grid Support 12 電界電子放出箇所の分布 (a) Vc=3.0 kV (b) Vc=2.9 kV (c) Vc=2.8 kV (d) Vc=2.7 kV (e) Vc=2.6 kV 9mm 9mm