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传输线脉冲测试系统 1 套 技术要求 一、设备的组成及配置清单 1.1 传输线脉冲发生器 1.2 示波器 1.3 漏电监测单元 1.4 自动化测试硬件系统（传输线脉冲波形注入的波形控制，被测器件的瞬态电压 和电流波形、 IV 曲线测试） 1.5 预装了自动化测试、记录软件的电脑台式主机 ( 配置 :i7 处理器 ,8G 内存,1T 硬 盘), 国内采购 19 英寸显示器、鼠标、键盘 1.6 探针台及测试配件 ( 包含 : 体视显微镜 ( 最高放大倍率 90 倍, 国内采购 ) ，微距探 针座，探针臂，探针，测试配套的连接线缆，以及电压和电流探头 ) 二、系统各部分的技术规范要求 * 2.1 传输线脉冲脉冲发生器： 开路最大输出电压：± 1.25 kV 短路最大输出电流：± 25 A 系统阻抗： 50? 上升沿时间： 0.1ns, 0.3ns, 0.6ns, 1ns ，内置程控可选 传输线脉冲脉冲宽度： 0.5ns, 1ns ，5ns，100 ns ，内置程控可选 * 2.2 数字源表： 电压量程：± 200V 电压精度：≤± 100nV 流量程：± 1A 电流精度：≤± 1pA * 2.3 示波器：带宽≥ 13GHz，采样率≥ 40Gsa/s, 四个模拟通道 2.4 测试电脑和测试软件 能通过 USB接口、 GPIB接口或者网口控制示波器、 SMU传输线脉冲发生器； 能够设置五段或以上传输线脉冲测试电压序列、 能够调整脉冲间隔、 测量窗口和 电压步长； 能够设置五个或以上 DC测试点进行直流漏电测试； 系统校准包括电压、电流瞬态波形的起始时间校准，以及 SOZL四步校准，校准 完成后在软件中自动计算校正参数； 能够启用或禁用漏电测量； 能够保存测试结果（包括 IV 曲线图、 IV 曲线数据表格、每个瞬态电压、电流测 试波形数据）； 能够支持多种数据结果分析 : IV 曲线, IVT 3D 图, 动态电阻 , R-t 的曲线及 DUT 端能量积分功能； 能够调用四个或以上测试结果进行对比分析。 2.5 探针测试装置 : 可进行两线和四线的传输线脉冲探针测试，装置包括探针台、体视显微镜 ( 最高 放大倍率 90 倍, 国内采购 ), 探针座和探针臂，探针，测试配套的连接线缆，以及电 压和电流探头。 2.6 双向开关模块 : 用于传输线脉冲测试与漏电测试之间的切换 2.7 电流测量配件 : 配备传输线脉冲测试电流探头 配备快速传输线脉冲 TDR-S方式的电流测量低损传输线 * 2.8 支持 TDR-O方法的标准传输线脉冲测试和 TDR-S方法的超快传输线脉冲测试， TDR-S测试方法需配备电压、电流测试通道的 S 参数频域补偿算法。 三、质保要求 : 验收合格后 2 年 显微高速成像系统 1 套 1. 工作温度 -10 ℃～50℃ 2. 满幅分辨率不低于 1280×800 3. 满幅拍摄速率不低于 5200 帧/ 秒 4. 分辨率为 256 ×256 时拍摄速率不低于 50000 帧/ 秒 5. 分辨率 256 ×128 时拍摄速率不低于 100000 帧/ 秒 * 6. 最高拍摄速率不低于 55 万帧/ 秒 7. 像元尺寸不小于 2