电子工业用气体氟甲烷编制说明.pdfVIP

《电子特气 氟甲烷》 国家标准征求意见稿 编制说明 标准起草工作组 2020 年 5 月 一、工作简况 （一）任务来源 氟甲烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用在半导体制造过程中，例如作为蚀刻剂、 化学气相沉积后腔体的清洗剂。随着半导体器件的发展，集成电路精度要求越来越高，常 规的湿法腐蚀不能满足 0.18～0.25 μm 的深亚微米集成电路高精度细线蚀刻的要求 ; 而氟 甲烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精确性的优点，可以极好地 满足此类线宽较小的制程的要求。 由于国内受缺乏标准等因素的制约，我国氟甲烷产能较小，无法满足集成电路产业大 量的需求，目前主要依赖于进口。为了跟上先进半导体材料的迅速发展，提高我国自主生 产电子氟甲烷的能力， 根据国家标准化管理委员会标准制修订计划 T-469制定本 标准。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，由于标准计划下达时只能下 到总会，因此计划上是由总会归口。但是实际本标准修订工作是由气体分会组织并归口。 本标准起草单位：。 （二）工作过程的说明 2018 年国家标准化管理委员会下达了“ 2018 年第四批国家标准制修订计划”（国标 委综合〔 2018 〕83 号），《电子工业用气体 氟甲烷》正式立项，标准由全国半导体设备 和材料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准 化技术委员气体分会组织浙江省化工研究院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、 大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相 关单位做了大量的前期调研及草案起草工作。 标准起草小组首先开始搜集相关的资料，发现没有相关的 SEMI标准。起草小组对国 际、国内电子氟甲烷产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的企业标准和国内 实际生产情况相结合，于 2019 年 10 月份提出了标准的草案，提交 2019 年年会讨论。针 对修改意见，起草小组提出了讨论稿。讨论稿技术要求见表 4～表 6 。 2019 年 12 月，标准起草小组在上海召开标准讨论会，广泛征求企业的意见。在此次 讨论会上， 专家们就讨论稿的基本结构、 范围、技术指标、检验方法等进行了认真的讨论。 2 提出了如下的意见： （1）“3 技术要求”：删除表 1 中氢、一氧化碳的要求，将其他有机物的种类修改 为“三氟甲烷、二氟甲烷、乙烷、乙烯”。 （2 ）单列检验规则。 （3 ）检测方法：请色谱验证平台单位开展验证工作后再修改。 （4）第 5 章分为两部分内容来编制：（ 1）标志（2）包装、运输和贮存。 （5 ）将安全信息放入附录 A 。 针对以上意见，起草小组制定了标准验证试验的方案，于 2020 年 3 月~5 月开展了验 证试验，并提出了征求意见稿，面向全社会征求意见。征求稿技术要求见表 9、表 10。 二 国家标准编制原则和确定标准主要内容 从目前掌握的资料来看，电子氟甲烷无相关的 SEMI标准，国外几个生产电子氟甲烷 的大公司都有他们自己的技术指标，起草小组参照了国外先进企业技术标准，做了大量的 实验工作，制定出了技术指标和检验方法，现将有关情况说明如下 2.1 标准名称 2018 年 3 月，九大部委联合发布的《新材料标准领航行动计划（ 2018~2020）》中明 确提出应建立和完善硅基半导体材料标准体系，建立超高纯特种电子气体等关键材料系列 标准，加速集成电路制造产业国产化。电子级氟甲烷作为特种电子气体的系列产品，该