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- 2020-08-13 发布于天津
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附录 C 洁净室(区)工程测试
C.1 风量和风速的检测
C.1.1 风速检测仪器宜采用热风速仪、三维或等效三维超声风速仪、叶轮风速仪。风量检
测仪器可采用带流量计的风量罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
C.1.2 单向流洁净室系统的系统总风量、室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列
规定:
1 单向流洁净室室内风速的测试, 其测试平面应为垂直于送风气流, 距离高效空气过滤
器出风面 300mm 处,测试平面应分成若干面积相等的栅格,栅格数量不应少于被测试截面
2
面积( m )10 倍的平方根数,测点应取在每个栅格的中心,全部测点不应少于 5 。
直接测量过滤器面风速时, 测点距离过滤器出风面应为 150mm ,测试面应划分为面积相
等边长不大于 600mm×600mm 的格栅,测点应取在每个栅格的中心。
每一风速测点持续测试的有效时间不应少于 10s,并应记录最大值、最小值和平均值。
单向流洁净室(区)的总送风量应按下式计算:
3
Qt= ∑(Vcp ×A) ×3600(m /h ) (C.1.2-1)
式中:
Vcp——每个栅格的平均风速( m/s );
A——每个栅格的面积( m2 )。
2 单向流洁净室气流风速分布的测试, 应由建设方、 测试方共同协商确定, 且宜在空态
下进行。 风速分布测试应取工作面高度为测试平面, 平面上划分的栅格数量不应少于测试截
面面积(㎡) 10 倍的平方根数,测点应取在每个栅格的中心。
风速分布的不均匀度 β应按下式计算,其数值不应大于 0.25 。
0 S / V (C.1.2-2)
式中:
v——各测点风速的平均值;
s——标准差。
当洁净室内安装好工艺设备和工作台后, 若还需进行风速分布测试时, 其测试的实施要求、
合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方、测试方共同协商确定。
C.1.3 洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定:
1 安装有高效过滤器风口风量的测试, 应根据风口形状采用加接辅助风管的方法。 辅助
风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成,形状及内截面应与风口相同,长度不应小于 2
倍风口长边长的直管段, 并应连接于风口外部。 应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速
和风量,并应按附录 D.2 的规定执行;
2 当风口上风侧有 2 倍风管长边长度的直管段, 且已有预留测孔或可以设置测点时, 风
量宜采用风管法测试,并应按附录 C.2 的规定执行;
3 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量, 测量时风罩的开口应全
部罩住被测风口,不应有泄漏;
4 风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时, 可利用该流量计直接测量该处的风
口风量。
C.2 室内静压的检测
C.2.1 静压差的检测宜采用电子微压计、斜管微压计、机械式压差计等,分辨率不应低于
2.0Pa。
C.2.2 静压差的测定应符合下列规定:
1 所有的建筑隔断、门窗均应密闭;
2 在洁净室送、回、
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