热场用钨杆-编制说明.pdf

《热场用钨杆》编制说明 1 工作简况（包括任务来源、主要工作过程） 1.1 任务来源 热场用钨杆是高温热场领域应用技术的核心关键发热部件。 根据行业发展趋势， 为了热 场用钨杆生产企业规范产品、 稳定和提高产品质量， 推动和促进下游产品的开发及使用， 制 订热场用钨杆国家标准， 对推动我国热场领域用钨杆的发展具有重要意义； 同时能更好地引 领中国钨制造行业的发展，推动钨制造行业整体水平的提高。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，经国家标准化管理委员会批 准，纳入国家标准委员会 2015 年国家标准计划项目，项目编号为 T-469 。 1.2 主要工作过程和工作内容 成都虹波实业股份有限公司于 2016 年 2 月组建了《热场用钨杆》国家标准起草小组， 确定了负责人、主要工作内容及进度要求。标准起草小组经过前期调研、资料收集、检验 试验、标准起草制定等工作，于 2017 年 11 月形成了标准初稿，并于 2018 年 1 月组织该领 域的部分专家对初稿进行了讨论， 提出了一些修改建议； 起草小组根据修改建议， 并结合生 产、使用厂家的实际情况，对标准初稿进行修改，形成征求意见稿。主要工作内容如下： 1） 确定《热场用钨杆》国家标准起草遵循的基本原则； 2 ） 查阅相关标准； 3） 对生产、使用厂家进行调研，收集资料； 4 ） 确定标准的主要内容； 5） 确定检验试验方法； 6） 对样品进行检验试验； 7） 根据检验试验数据确定指标取值范围； 8） 组织该领域部分专家对标准初稿进行讨论，提出修改建议； 9） 根据修改建议，并结合生产、使用厂家的实际情况，对标准初稿进行修改，形成征 求意见稿。 2 标准的制定原则 本标准在制定时主要遵循以下原则： （一） 有利于促进技术进步，提高产品质量； （二） 有利于合理利用资源，提高经济效益； （三） 符合用户要求，保护消费者利益，促进贸易； （四） 与关联标准协调一致。 3 标准的主要内容 3.1 要求 3.1.1 产品分类 钨杆按表面状态不同分为清洗钨杆（ Q）、磨光钨杆（ M），按照化学成分不同钨杆牌号 分为 WK80、WK60。 3.1.2 化学成分 规定了钨的最小含量、 添加元素的含量范围、 其它杂质元素总和的最大含量及每种杂质 元素的最大含量。具体要求见表 1。 表 1 单位为质量百分比 其它元素最大含量 牌号 W K As/Ca/Cr/Mg Bi/Cd/Cu/Pb Fe Al Mo Si /Mn/Na/Ni /Sb/Co/Ti/Sn WK80 ≥99.95 0.007 ～0.009 0.002 0.0030 0.003 0.0015 0.001 0.0005 WK60 ≥99.95 0.005 ～0.007 0.002 0.0030 0.003 0.0015 0.001 0.0005 3.1.3 规格尺寸 规定了直径允许偏差、 直径均匀性、 椭圆度、