设备管理 CM设备精度调整.pdf

设备管理 CM 设备精度调整 1.设备精度调整 1.2 机器参数的示教步骤 在进行示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上。 各 “机器参数的示教”画面可以按以下步骤打开。 1. 按主菜单画面的 机器参数菜单画面将显示出来 2. 按[机器参数示教]键 3. 按操作面板的 机器参数的示教菜单画面将显示出来 4. 按进行示教的参数键 ∗此处举一个例子，按[基板识别照相机 XY 轴原点偏移量]键 5. 选择进行示教的工作台 6. 按照画面的提示，开始机器参数的 示教 1.2.1 基板识别照相机·XY 轴原点偏移量 1. 按[基板识别照相机XY 轴原点偏移量]键 2. 选择示教工作台 3. 按操作面板的 + [固定标志位置移 动]键 吸头照相机将移动到标记位置 4. 按操作面板的 + [照相机角度示教] 5. 按操作面板的 + [XY 轴原点偏移量照相机倍率示教] 键。 ∗重复步骤2. ~ 5 的操作，在其它工 作台上也要进行同样的操作。 6. 按功能键。 回到机器参数示教菜单画面 1.2.2 Z 轴原点偏移量 A) 高速吸头 (8 个吸嘴) 时 A) 在使用8 根130 号吸嘴时(整体示教) 1. 按[Z 轴原点偏移量]键 2. 选择示教工作台 3. 按操作面板的 + [原点复归]键 4. 按操作面板的+ [量具设置]键 5. 将伺服开关置于OFF状态 6. 打开安全盖 7. 在整个吸嘴位置上安装130 号吸嘴 8. 关闭安全盖 9. 将伺服开关置于ON 状态 10. 按操作面板的+ [高度原点示教]键 11. 按操作面板的+ [卸下夹具]键 12. 将伺服开关置于OFF 状态 13. 打开安全盖 14. 取下吸嘴 15. 关闭安全盖 16. 将伺服开关置于ON 状态 ∗重复步骤2. ~ 16.的操作，在其它工作台上也要 进行同样的操作 17. 按功能键 18. 按操作面板的+ [执行]键 B) 使用1 根130 号吸嘴时(每个吸嘴的示教) 1. 按[Z 轴原点偏移量]键 2. 选择示教工作台 3. 按[每个吸嘴]键 4. 按操作面板的+ [原点复归]键 5. 按操作面板的+ [量具设置]键 6. 将伺服开关置于OFF 状态 7. 打开安全盖 8. 在画面所显示的吸嘴位置上安装130 号吸嘴 9. 关闭安全盖 10. 将伺服开关置于ON 状态 11. 按操作面板的+ [高度原点示教]键 12. 重复步骤5. ~ 11.的操作，在吸嘴 位置2到吸嘴位置8 之间进行示教 13. 按操作面板的+ [卸下夹具]键 14. 将伺服开关置于OFF 状态 15. 打开安全盖 16. 取下吸嘴 17. 关闭安全盖 18. 将伺服开关置于ON 状态 ∗重复步骤2. ~ 18.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作 19. 按功能键 20. 按操作面板的+ [执行]键 ∗吸头移向原点位置 B) 多功能吸头 (3 个吸嘴)时 A) 使用3 根1003 号吸嘴时(整体示教) 1. 按[Z 轴原点偏移量]键。 2. 选择示教工作台。 3. 按操作面板的+ [原点复归]键。 4. 按操作面板的+ [量具设置]键 5. 将伺服开关置于OFF状态 6. 打开安全盖 7. 将1003号吸嘴安装在全部吸嘴位置上 8. 关闭安全盖 9. 将伺服开关置于ON 状态 10. 按操作面板的+ [高度原点示教]键 11. 按操作面板的+ [卸下夹具]键 12. 将伺服开关置于OFF 状态 13. 打开安全盖 14. 取下吸嘴 15. 关闭安全盖 16. 将伺服开关置于ON状态 ∗重复步骤2. ~ 16.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作 17. 按功能键 18. 按操作面板的+ [执行]键 B) 使用1 根1003 号吸嘴时 (对每个吸头进行示教) 1. 按[Z 轴原点偏移量]键 2. 选择示教工作台 3. 按[每个吸头]键 4. 按[吸头No]键。示教的号码将显示出来。反复按动