71薄膜的力学性质汇总讲义.pptVIP

共享优质文章 内容仅供学习 共享优质文章 内容仅供学习 共享优质文章 内容仅供学习 §7-1 薄膜的力学性质 薄膜的力学性质与其结构密切相关。 附着性质 应力性质 弹性性质 机械强度 — 取决于薄膜成长的初始阶段 取决于生长阶段及其结构类型 薄膜的力学性质 共享优质文章 内容仅供学习 1、薄膜的附着力 附着：薄膜与基片保持接触，两者的原子相互受到对方的吸附作用的状态。 附着力、附着能 附着性能 控制着对其他性能的观察和研究。 理论上，关系到对结合界面的了解； 使用上，决定了薄膜元器件的稳定性和可靠性 共享优质文章 内容仅供学习 1、薄膜的附着力 宏观效应附着 简单附着 扩散附着 通过中间层附着 简单附着 两个接触面相互吸引形成，有清楚的分界面 扩散附着 两个接触面相互扩散或溶解形成渐变界面 两个接触面间形成化合物中间层，无单纯界面 机械锁合 双电层吸引 共享优质文章 内容仅供学习 1、薄膜的附着力 附着机理—吸附 物理吸附（吸附能0.001～0.1eV） 范德华力吸附：短程力，随原子间距离的增大，附着力减弱。 静电力吸附：数值虽小，但对附着力的贡献较大。 化学吸附 薄膜与基体间形成化学键结合（离子键、共价键、金属键），是短程力，数值上比范德华力大，约为0.1～0.5eV. 共享优质文章 内容仅供学习 1、薄膜的附着力 附着机理 附着