现代材料分析测试技术材料分析测试技术 1.pptVIP

图 2-1 入射电子与原子的交互作用产生的各种信息的示意图 背散射电子 试样 吸收电子 透射电子 X 射线 阴极发光 入射电子 二次电子 Auger 电子 2.1.1 原子核对电子的弹性散射 ? 当入射电子从距离原子核 r n 处经过时，由于原子核的 正电荷 Ze 的吸引作用，入射电子偏离入射方向（如 图所示）。根据卢瑟福的经典散射模型，散射角 θ n 的 大小取决于瞄准距离 r n 、核电荷数 Ze 和入射电子的 能量 E 0 . 0 E r Z n n n ? ? 原子核的正电荷 入射电子的能量 瞄准距离 散射角 )] ( )[ sin 10 ( 10 38 . 2 ) ( 8 10 n x n n e f z f ? ? ? ? ? ? ? ? ? 弹性散射是电子衍射和成像的基础，原子对入射电 子在 θ n 角方向的弹性散射振幅是 2.1.2 原子核对电子的非弹性散射 ? ? hc h E ? ? ? ? 由于非弹性散射，入射 不但改变方向，而且能 量有不同程度损失，速 度减慢，损失的能量转 化为 X 射线。 2.1.3 核外电子对入射电子的非弹性散射 * 核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射。散射 过程中入射电子的能量损失部分转变为热，部分使物质 中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着产生各种 有用信息，如二次电子、俄歇电子、特征 X 射线、特征 能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。 * 核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射在电子 衍射及透射电镜成像时，由于引起色差而增加背景强度 及降低图像衬度，是有害的。但这种非弹性散射中产生 的电离、阴极发光及电子云的集体振荡等物理效应，可 以从不同侧面反映样品的形貌、结构及成份特征，为一 系列电子显微分析仪器提供了重要的信息来源。 2.2 高能电子与样品物质交互作用产生 的电子信息 2.2.1 二次电子 (SE) * 当入射电子与原子核外电子发生相互作用时，会使原 子失去电子而变成离子 - 电离，这个脱离原子的电子称 为二次电子。如果被电离出来的二次电子来自原子中的 价电子，则称为价电子激发；如果被电离出来的二次电 子来自原子中的内层电子，则称为芯电子激发。 入射电子使固体中价电子激发到费米能级以上或游离 时损失的能量较小，而使内层电子激发或游离时损失的 能量相当大。所以价电子的激发几率远大于内层电子的 激发几率。 * 二次电子的主要特点： ** 对样品表面形貌敏感 本部分的主要目的： 介绍透射电镜分析、扫描电镜分析、表面成 分分析及相关技术的基本原理，了解透射电 镜样品制备和分析的基本操作和步骤，掌握 扫描电镜在材料研究中的应用技术。在介绍 基本原理的基础上，侧重分析技术的应用！ 讲课 18 学时，实验： 4 学时，考试 2 学时。 电子显微分析技术 主要要求： 1) 掌握透射电镜分析、扫描电镜分析和表面分析技术及其在材料研究领域的应用； 2 ）了解电子与物质的交互作用以及电磁透镜分辨率的影响因素； 3 ）了解透射电镜的基本结构和工作原理，掌握电子衍射分析及衍射普标定、薄膜样 品的制备及其透射电子显微分析； 4 ）了解扫描电镜的基本结构及其工作原理，掌握原子序数衬度、表面形貌衬度及其 在材料领域的应用；了解波谱仪、能谱仪的结构及工作原理，初步掌握电子探针分 析技术； 5 ）对表面成分分析技术有初步了解； 6 ）了解电子显微技术的新进展及实验方法的选择； 参考书： 1 ）常铁军， 祁欣 主编。《材料近代分析测试方法》 哈尔滨工业大学出版社； 2 ）周玉，武高辉 编著。 《材料分析测试技术 —— 材料 X 射线与电子显微分析》 哈 尔滨工业大学出版社。 1998 版 3 ）黄孝瑛 编著。 《透射电子显微学》 上海科学技术出版社。 1987 版 4 ）进藤 大辅， 及川 哲夫 合著 . 《材料评价的分析电子显微方法》 冶金工业出 版社。 2001 年版 5 ）叶恒强 编著。 《材料界面结构与特性》 科学出版社， 1999 版 1.1 引言 眼睛是人类认识客观世界的第一架“光学仪器”。 但它的能力是有限的，如果两个细小物体间的距离小 于 0.1mm 时，眼睛就无法把它们分开。 光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供了重要 的工具。随着科学技术的发展，光学显微镜因其有限 的分辨本领而难以满足许多微观分析的需求。 上世纪 30 年