（设备管理）真空镀膜技术沈阳科特真空——新材料科研设备制造基地（金.pdfVIP

（设备管理）真空镀膜技 术沈阳科特真空——新材 料科研设备制造基地（金 ★ 一般术语 真空镀膜vacuumcoating 在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。 基片 substrate 膜层承受体。 试验基片 testingsubstrate 在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测 量和（或）试验的基片。 镀膜材料 coatingmaterial 用来制取膜层的原材料。 蒸发材料evaporationmaterial 在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。 溅射材料 sputteringmaterial 在真空溅射中用来溅射的镀膜材料。 膜层材料(膜层材质)filmmaterial 组成膜层的材料。 蒸发速率evaporationrate 在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以 该时间间隔。 溅射速率