电容式传感器传感器原理及应用.pptVIP

第4章 电容式传感器 Capacitive Sensors 免费免费!!!;绪 论 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量的变化转换为电容量的变化。;4.1 电容式传感器的工作原理和特性;可见：在S、d、ε三个参量中，改变其中任意一个量，均可使电容量C改变。也就是说，如果被检测参数(如位移、压力、液位等)的变化引起S、d、ε三个参量中之一发生变化，就可利用相应的电容量的改变实现参数测量。据此，电容式传感器可分为以下三大类： (1) 极距变化型电容传感器； (2) 面积变化型电容传感器； (3) 介质变化型电容传感器。;4.1.2电容传感器特性分析;;;为了提高灵敏度和减小非线性，以及克服某些外界条件如电源电压、环境温度变化的影响，常采用差动式的电容传感器，其原理结构如图所示。 ;略去非线性高次项，得：;2.变面积的电容式传感器; ;变面积型电容传感器中，平板形结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响,而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构。;（2）用于角位移测量的电容式传感器;3.变介质型电容式传感器;;（1)若改变固体介质的相对介电常数 ， 则有电容量的相对变化为:;（2）若传感器保持? r不变，改变介质厚度，则可用于测量介质厚度变化，此时;（3）若被测介质充满两极板间，则d=a，