25MW太阳能电池工艺流程与国内外设备对照清单.docxVIP

25MW 太阳能电池工艺流程清单 序号 工序流程 所 用 设 设备性能 所 用设 备数 总价（万元） 建议 备 量 进口设备特点 参考价 国产设备特点 参 考 价 1 制绒 制绒台 自动化程度高， 300 万 1．全自动： 对硅 130万 1 套 130 国产自动 但对硅片外型 片 外 型尺寸 尺寸要求高，也 要求高 国内 并不太适用 部 分 厂家采 用 60 万 2．手动： 对硅片 外 型 尺寸要 求不高， 价格 便宜，但人为 因 素 对产品 质量有影响 2 扩散 （掺 扩散炉 无需进口 600 万 设备性能稳定， 100万 三台 300 国产 杂） 已 完 全 取 代 进 口。 3 刻蚀 （去 刻蚀机 无需进口 80 万 设备性能稳定比 20 万 四台 80 国产 周 边 杂 国外设备好，已 质） 完全取代进口。 4 酸洗 （去 1．全自动： 对硅 60 万 一套 60 国产自动 酸洗台 自动化程度高， 磷 硅 玻 但对硅片外型 片 外 型尺寸 璃） 尺寸要求高，也 要求高 国内 并不太适用 部 分 厂家采 15 万 用 2．手动：对硅片 外型尺寸要求不 高，价格便宜。 5 镀膜 手 动 喷 APCVD 镀膜， 500 万 APCVD 镀膜国 一台 500 进口 APCVD 镀 台 或 内没工业化生产 或 PECVD APCVD 设备。 或 手动喷膜：自动 15 万 PECVD