外延薄中缺陷.pptVIP

第九章外延薄膜中的缺陷 多晶薄膜:薄膜由大量微小晶体(晶粒)组成 单晶薄膜:薄膜中的全部原子或分子呈规则排列。 外延薄膜:在单晶基片上,生长出的单晶薄膜与基 片保持一定的晶体学取向关系。(薄膜和 衬底材料之间晶格的连续过渡) 如sic(l/S(11);Ag001)∥NaC(001) 同质外延生长,异质外延生长 标记:( HKL)//CkD; [UVW/uvw] (001)Ni/(001Cu[100Ni[100JCu (111)PbTe//(11lMgAl,O4:; [211]PbTe//[101MgAL, O4 失配度f=(a-a2)/a 都是面内晶格常数 公度失配:f=(n,mn)/ma GaAs(001)a0=0.5654nmFe(001)a0=02866nm ∫=(0.5654-2*0.2866)(20.2866=-1.38% (10)Fe//(11o)GaAs: [200]Fe//[100jGaAs si[110 (101)β3-FeSi2/)si:|0101β- B-FeSi2[010 FeSi//[-110JS βFeSi2:a=9.86,b=7.79,c=7.88 S(00國 B-FeSl2[010 (100-Fesi/(00si01- FeSi,//[11OjSi Su110 Those planes and directions which give the