氦质谱检漏仪测试使用规范.docVIP

氦质谱检漏仪 本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范 概述 质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。其技术参数如下： 型号：SFJ-211B 最小可检漏范围： 漏率显示范围： 吸枪长度： 探头直径： 制造标准： 渗氦型真空校准漏孔： 校准标准： 使用方法 实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。 按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。 将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。也可以根据客户要求进行测试。 注意事项 在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。 在测试进行一个小时后，应在标漏一次。 设备必须在停止状态下才能松开卡箍。 真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。 吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。