氦质谱检漏仪校准规程.docVIP

氦质谱检漏仪校准规程 1 目的 氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。 2 范围 本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。 3 引用标准 生产商提供的技术文件。 4. 校准条件 校准氦质谱检漏仪的标准漏孔，应是由有关专业机构校准过的并有校准证明的渗氦型标准漏孔，漏率范围在10-9 Pa·m3/s数量级。 5. 校准程序 5.1 外观 仪器整机应完整，表面应清洁，不应有影响正常工作的破损现象，仪器内机械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。 5.2 通电后性能 面板开关，按钮性能接触良好，内部无短路。机械泵和涡流分子泵运转正常，无异常响声。仪器通电启动后，各项真空指示正常，能在规定时间内达到仪器正常工作所需的真空度。 5.3 最小可检灵敏度 开机后仪器各项指示，性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝的水平，打开仪器内校准漏孔，仪器的最小可检灵敏度应优于1×10-10Pa·m3/s。 5.4 响应时间 打开校准漏孔后，到仪器指示值到达仪器指示最大值的63%所需时间，即为响应时间，响应时间应≤3s。 5.5 清除时间 关闭校准漏孔后，到仪器指示值达到仪器最大指示值的37%所需时间，即为清除时间，清除时间应≤3s。 6