第七章现代检测技术1.pptVIP

6. 通过微机械加工技术可以制作各种形式的微结构。 其固有谐振频率可以设计成某种物理参量 ( 如温度或压 力 ) 的单值函数。因此可以通过检测其谐振频率来检测 被测物理量。这是一种谐振式传感器， 直接输出数字 量 ( 频率 ) 。 它的性能极为稳定、精度高、不需 A/D 转换 器便能与微处理器方便地接口。免去 A/D 转换器，对于 节省芯片面积、简化集成化工艺，均十分有利。 7. 使用极其方便， 它没有外部连接元件，外接连线数量极少，包括电 源、通讯线可以少至四条，因此，接线极其简便。它还 可以自动进行整体自校， 无需用户长时间地反复多环节 调节与校验。“智能”含量越高的智能传感器， 它的操 作使用越简便， 用户只需编制简单的使用主程序。这就 如同“傻瓜”照相机的操作比不是“傻瓜”照相机的经 典式照相机要简便得多一样的道理。 根据以上特点可以看出：通过集成化实现的智能传 感器，为达到高自适应性、高精度、高可靠性与高稳定 性，其发展主要有以下两种趋势： 1) ： 多功能化与阵列化， 加上强大的软件信息处理功能； 2) ： 发展谐振式传感器， 加软件信息处理功能。 例如， 压阻式压差传感器是采用微机械加工技术最先实用 化的集成传感器，但