第2章.电子光学基础.pptVIP

有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z 磁感应强度分布图 2.电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 几何像差 色差 几何像差是透镜磁场几何形状缺陷所造成的，主要有球差和像散。 色差是电子波的波长和能量发生一定变化所造成的。 （1）球差： 透镜的远轴区和近轴区对电子的折射能力不同所造成。远轴区对电子的折射能力强，近轴区对电子的折射能力弱。一个物点散射的电子经过透镜后不是被汇聚在一个像点上，而是汇聚在一定的轴向距离上，结果一个物点在像平面上得到一个散焦圆斑。散焦圆斑的直径 2Rs。2Rs / M折算到物平面上 Δrs＝Rs / M 物镜 像平面Ⅱ P 像平面Ⅰ 最小散焦斑 2Rs 2△rs 远轴区 近轴区 式中：Cs是球差系数（定数） α 是磁透镜的孔径半角 球差引起的散焦斑半径 Δrs 表示球差的大小, α越小, Δrs越小，透镜的分辨率越高。 注意：球差是制造缺陷。 课堂要点： 1.电子波有何特性，加速电压＞30KV时， 计算波长要考虑什么影响？ 2.电子枪有几种？分别有什么特性？ 3.电磁透镜的像差是怎样产生的，如何消除和减小像差？ 4.影响电磁透镜分辨率的主要原因是什么？ 如何提高分辨率？ §2－1 电子射线的特性 电子是具有一定质量、带有一定电荷的基本粒子。和可见光相似，运动的电子具有粒子性与波动性。 根据德布罗意的观点，每一运动着的微观粒子都有一个波与之相对应，这个波的波长与粒子运动速度、粒子质量之间存在着特定的关系。 一. 电子的波粒两相性 德布罗意波－物质波 h －普朗克常数 公式表述了电子的波动性和粒子性之间的关系。 二. 电子波的波长 从公式可知，波长是速度V 的函数，速度越大，波长越短。 电子波的波长取决于电子运动速度V，而电子运动速度V 受加速电子运动的电压U所控制。 电子的运动速度 一个初速为0的电子 e U V 在加速电压U作用下获得了运动速度V 加速电压U和运动速度V 之间的关系为 电子波长的一般计算公式 U加速电压（V）, λ电子波长（? ） h普朗克常数（J.S） e 电荷的电量（C） m0电荷静止时的质量（Kg） 电压≤30kV的波长公式 公式说明：电子波长与加速电压的平方根成反比，加速电压越高，电子波长越短。 大家学习辛苦了，还是要坚持 继续保持安静 注意：当U＞30kV时 电子运动速度接近光速，即V ≈C，这时电子质量 m 随着运动速度的增加而增大，m≠m0 ，上式不再适用，引入相对论进行修正。 电压＞30KV时 波长的计算公式 相对论修正系数 加速电压＞30kV时电子波的波长 不同加速电压下电子波的波长（经相对论修正） 加速电压 kV 75 100 200 500 1000 电子波长 ? 0.043 0.037 0.025 0.014 0.007 §2－2 电子枪 电子枪是产生电子束的装置，有两种类型 1. 热电子发射型 发夹式钨灯丝 高亮度LaB6单晶灯丝 2. 场发射型 冷阴极场发射型 热阴极场发射型 1.热电子发射电子枪 （1）阴极：发射电子。一般是由0.03-0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。阴极带有负高压。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地。 （3）栅极：控制、稳定电子束流大小。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数目及其动能。 热电子发射型电子枪 电子枪有三个极 阴极（灯丝） 控制极（栅极） 阳极（加速极） 三极电位关系 阴极上加负高压（负几十kV~负几百kV） 栅极比阴极更负（负100V~负500V） 阳极是零电位。 电子枪的构成 LaB6单晶灯丝 电子枪的工作原理 2. 场发射型电子枪 场发射：在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变浅，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来的现象。 场发射型电子枪无栅极。它由一个阴极和两个阳极所组成，第一阳极施加一个低电压（相对于第二阳极来说），只有几kV，用以将阴极上的自由电子吸引出来，第二阳极上施加极高电压，100kV甚至更高，将自由电子加速到