金属热处理生产工艺 离子渗氮 5离子渗氮.pptVIP

第三节 离子渗氮 离子渗氮(plasma nitriding)是在低真空(通常为10～ 10-2Pa)含氮气氛中，利用工件(阴极)和阳极间产生的辉光放 电现象进行的渗氮工艺。 二、离子渗氮的特点： (1)渗氮速度快，渗氮层深度为0．3～0．5mm时，所需时 间仅为普通气体渗氮的l／3—1／5。 (2)渗氮质量好渗氮层中的化合物组织可调，采用不同参 数，可分别获得γ’、ε、γ’+ε、γ’ε+Fe3C等化合物层， 还可使渗氮层中不出现化合物层，从而调整渗氮层性能，满 足不同工件的性能要求。 例如：渗氮层中无化合物层或只有γ’化合物层时，渗氮层 的韧性较好，适于在接触疲劳和交变载荷条件下工作。 (3)工件变形小，适合处理精密零件和形状复杂零件。 (4)渗氮前不需去钝处理不锈钢与耐热钢的渗氮不必事先喷 砂或酸洗，也不必在炉中放氯化铵，靠阴极溅射就能有效地 除去钝化膜。 (5)容易实现局部渗氮对局部渗氮的零件，可采用保护罩等 简单屏蔽的方法，免去镀层及随后的清理工序。 (6)适用于各种材料对渗氮钢、碳钢、不锈钢、耐热钢、铸 铁和非铁金属等均能进行渗氮 缺点：投资高，准确测温困难，设备操作与调整较繁琐，对大型炉子及混装工件情况，各处温度往往不均匀。 一、离子渗氮基本原理和装置 把放入炉内的工件作为阴极，离子渗氮炉体(真空容器)作为阳极，然后将炉内抽成一定真空(1．33～13．3Pa)，充入少量氨气或氮氢混合气体，并继续对炉内抽气。当炉内压力达到70Pa左右时，在阴阳极之间通以400～800V的直流电压，使炉内稀薄气体发生电离，氨气在高压电场作用下部分分解成氮和氢的正离子及电子。 离子氮化工作原理 在电场作用下，电子向阳极运动，N+、H+等正离子则向阴极运动，它们在运动途中不断碰撞其他气体分子，使其激发、电离。当正离子到达阴极附近时，被强烈的电场突然加速而轰击工件表面，使阴极(工件)表面形成一层紫色辉光，其厚度为4～8mm。具有高能量的正离子轰击工件表面，将其动能转化为热能而加热工件。同时，氮的正离子在阴极夺取电子后还原成氮原子被工件表面吸收，并向内层扩散。氮离子冲击工件表面还能产生阴极溅射效应，溅射出铁离子，这些溅射出来的铁原子在等离子区与氮离子及电子结合成FeN，FeN被吸附到工件表面上。在高温及离子轰击下，FeN很快分解为Fe2N、Fe3N、 Fe4N等(FeN—Fe2N+[N])，并放出活性氮原子向工件内部扩散，于是在工件表面形成渗氮层。随时间的增加，渗氮层逐步加深。 P o w e r B a r 中国专业PPT设计交流论坛 P o w e r B a r 中国专业PPT设计交流论坛