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- 约 30页
- 2020-09-04 发布于福建
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蔡司场发射扫描电镜 Merlin
简明操作教程
安全注意事项
样品台移动:当移动样品台时,一定要确保其不碰撞到探头和物
镜。(在样品台上升过程中,一定要在TV模式下观察样品高度)
紧急情况:当设备出现短路、起火等重大紧急故障时,切断设备
电源,并按下房间墙上紧急电源制动按钮。
样品要求及制备
试样性状要求:
(1)试样可以是块状或粉未状。
(2)试样在真空中稳定,不含水分或其它易挥发物
(3)对磁性试样要预先去磁,以免观察时电子東受到磁场影响。
(4)电子束照射下释放出气体的样品严禁测试
(5)表面污染的试样,要在不破坏试样表面结构前提下进行清洗,并烘
(6)进行表面侵蚀的试样在侵蚀后应将表面或断口清洗干净,并烘干。
试样尺寸要求
块体试样大小要适合样品座尺寸,宽度不超过50mm,高度小于10mm左右
为宜
样品要求及制备
试样制备:样品制备工作请提前在各自实验室自行完成
(1)块体试样
直接用导电胶或双粘胶黏贴于试样台上,尽量保持试样高度一致:
(2)粉末试样
在丁型样品台上贴导电胶或双面胶,将少量粉未撒在上面,吸耳球把未粘住粉未吹去
或将粉未制备成悬浮液滴在载玻片、硅片等基底上(尺寸5mm左右),待溶液挥发后
将基底试样贴附到样品座上。不导电试样需进行镀膜处理
粉末试样
片/块状试样
截面试枓
开机
(1)仪
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