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空气洁净技术 ? 参考资料： 1. 空气洁净技术 与工程应用 冯树根编著 2. 空气洁净技术原理 （第三版） 许钟麟著 3. 洁净室施工、检测与运 行管理 冯树根著 1 2 “以不变应万变” ? “不变” ---- 就是我们学习的基础知识和 基本理论 ? “万变” ---- 就是千变万化的各种各样的 工程 ? 即应用所学理论来应对千变万化的各种 各样的工程 3 第 1 章 绪论 ? 1.1 空气洁净技术的发展历程 ? 1.1.1 空气洁净技术的起源 ? 空气洁净技术起源于发达国家，经历了不同的 发展阶段 ? 早在 20 世纪 20 年代，美国航空业在陀螺仪制造 过程中，为消除空气中的尘埃粒子的污染，最 先提出了生产环境的净化要求。美国一家导弹 公司曾发现，装配惯性制导用陀螺仪时，在普 通车间平均每生产 10 个产品就要返工 120 次。 而在控制尘粒污染的环境中装配，返工次数可 降低至 2 次。 4 ? 在朝鲜战争中，美国发现大量电子仪器故 障的主要原因是灰尘作怪，其中有 84% 的 雷达失效， 48% 的水声测位仪失效。陆军 65-75% 的电子设备失效，每年的维修费用 超出原价 2 倍，而 5 年中空军电子设备的维 修费用是设备原价的 10 倍多。 5 ? 阿波罗号登月计划，其精密机械加工和电子控制 仪器制造环境要求净化。为了从月球带回岩石， 对容器、工具的生产环境的洁净度有严格的要求， 促进了洁净技术的大发展，出现了层流技术，建 造了百级洁净室。 ? 英国和日本也在 20 世纪 50 年代建立了洁净室，用 于生产陀螺仪及半导体。 ? 前苏联也在同时期编制了“密闭厂房”的典型设 计。在洁净技术的应用中，提高了原材料的纯度、 产品装配的精度，提高了仪器的可靠性与寿命。 6 ? 在 20 世纪 60 年代，人们发现，在工业洁净室中测 试得到的微生物浓度远低于洁净室外空气中的微 生物浓度。于是便开始尝试利用工业洁净室进行 那些要求无菌环境的实验，并对尘、菌共存的机 理进行研究后确认，空气中的细菌病毒一般以群 体存在，并以空气中的尘埃粒子作为载体附着在 其表面。空气中尘埃粒子越多，细菌附着的机会 就越多，传播的机会也会增多。所以，在控制尘 粒数量的同时，也使附着于尘粒上的微生物得到 控制。 ? 在 20 世纪 70 年代初，依据这些研究成果，诞生了 以控制空气中微生物为主要目的的生物洁净室。 7 ? 我国在 20 世纪 50 年代未开始，研究应用洁净技术， 并逐步从军工走向民用。 ? 在 80 年代中期，把洁净技术应用于医药行业。随 着制药企业 GMP 认证制度的实施，近十年来，洁 净技术的应用有了突飞猛进的发展，建造了大量 的生物洁净室，并应用于药品生产、生物制品的 制造、食品及化妆品生产等过程中。 ? 近几年，在各大医院建造了许多洁净手术部， PCR 实验室及生物治疗实验室等生物洁净室，提 高了手术的成功率及医疗科研的水平。 8 ? 1.1.2 空气洁净技术的发展与应用 ? 纵观国内外空气洁净技术的发展史，都是伴随着 产品的可靠性、加工工艺的精密化、产品的微型 化以及产品的高纯度等要求而不断地发展的。 ? 空气洁净技术的发展经历了以下阶段： ? 在 20 世纪 20 年代，美国航空业的陀螺仪的制造过 程中最先提出了生产环境的净化要求。在制造车 间、实验室建立了“控制装配区”，供给一定量 的过滤后的空气。在朝鲜战争中，美国找到了电 子仪器出故障的主要原因是灰尘作怪，从而促成 了空气洁净技术的起步。 9 ? 1957 年，前苏联第一颗人造卫星的升空，刺激美 国加速发展宇航事业，制定了阿波罗号登月计划， 其电子控制仪器和精密机械加工环境均要求净化， 因而促进了洁净技术的大发展，建造了百级洁净 室，诞生了第一个洁净室标准。 ? 1970 年， 1K 位的集成电路开始大规模生产，使洁 净技术的发展突飞猛进。 20 世纪 80 年代，大规模 和超大规模集成电路的生产，使空气洁净技术有 了进一步的发展，集成电路的最细光刻线宽达到 2- 3μm 。在 70 年代未和 80 年代初，美国、日本研制 出 0.1μm 级高效空气过滤器，为洁净度的提高创造 了条件。 10 ? 在 20 世纪 90 年代，超大规模集成电路的生 产有了新的进展，最细光刻线宽由 80 年代 的微米级发展到亚微米级，到 20 世纪末， 要求达到 0.1μm - 0.2μm ，集成度达到 1KM 。 集成电路的集成度越高，要求的光刻线宽 就越小，则要求控制的尘粒粒径就越小， 尘粒数量也越少。如今 , 要求 0.1μm10 级的洁 净度已经很普遍 , 将来要求的洁净度会更高 , 洁净室的应用领域会更加宽广。 11 ? 在 2001 年中国科协学术年会上 , 杨振宁教授指出