激光干涉仪进行角度测量.pdfVIP

. SJ6000 激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高 精度环境补偿模块、 几何参量干涉光路设计、 高精度激光干涉信号处理系统、 高性能计算机 控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速 (约 6 分 钟) 、高精度 (0.05ppm) 、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜 组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 SJ6000 激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范 围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测， 可以进行机床振动测试与分析， 滚珠丝杆的动态特性分析， 驱动系统的响应特性分析， 导轨 的动态特性分析等，具有极高的精度和