电感式压传感器.pptVIP

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METRA 项目二压力传感器及其仪表 的安装与调试 任务一认识压力传感器 METRA 单元一认识压力传感器 单元内容 、项目引入 、知识讲解 1、电阻应变式压力传感器 2、电容式压力传感器 3、电感式压力传感器 4、压电式压力传感器 5、扩散硅压力传感器 三、归纳总结 四、作业 1单元一认识压力传感器 METRA 能力目标 知识目标 教 学|(1握常用压力传感器(如电阻应变式、电(1能识别不同种类的乐力传感器 目感式、电容式压电式、压阻式、差动变|(2能区分常见压力传感器的检测方 标压器式)压力检测原理 法、信号转换、应用场合、优缺点 (2)各种压力检测的方法。 难点 教学重点难点 点|(①常用压力传感器检测压力的方法 常见压力传感器工作原理,仪表信 )不同类型压力传感器 的认识 号采集与测量。 单元一认识压力传感器Mm 电容式压力传感器 (一)、电容式压力传感器原理结构 电容式压力传感器是利用电容作为敏感元件将被测压力转 换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用 圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜 感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生 变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。 电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器,如图 2-9所示,是由一个固定极板和一个弹性膜片(即动极板)组 成 1单元一认识压力传感器Mm 电容式压力传感器 (一)、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 C E0. s 弹性膜片(动电极 极板 国定电极 动板板 (a)变极距型电容式传感器结构原理图(b)变极距型电容式传感器 图29单电容式压力传感器(属于变极距 电容式传感器) 1 单元一认识压力传感器 METRA 电容式压力传感器 )、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 当传感器的和S为常数,初始极距为d时,可知其初始电容量C为 C- Eoe, S 若电容器极板间距离由初始值d缩小了Δd,电容量增大了△C,则有 C=Co+△C Goer METRA 单元一认识压力传感器 、电容式压力传感器 (一)、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 △C 图210电容量与极板间距离的关系 1单元一认识压力传感器Mm 电容式压力传感器 (一)、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 因△d的极距变化很小,使△M∥db1时,则有近似的线性关系为 △C△d 电容式传感器的灵敏度为 △dd 可见,要提高灵敏度,应减小d。但d过小,容易引起电容器击穿或短路。为 此,常用提高介电常数的方法,即在两级板间加云母、塑料膜等介质。 1 单元一认识压力传感器MEm 二、电容式压力传感器 2、差动电容式压力传感器 在实际应用中,为提高灵敏度和线性度,克服电源电压、环境温度变化等外界条 件影响,又研制出了差动式电容式压力传感器,如下图所示,上下两极板是固定极 板,中间极板是活动极板,未开始测量时将活动极板调整在中间位置,两边电容相 等。测量时,中间极板向上或下平移,就会引起电容量的上增下减或反之。 波纹隔离膜片 基座 (a)差动式电容压力传感器结构原理图 (b)差动平板式电容传感器结构 METRA 单元一认识压力传感器 、电容式压力传感器 2、差动电容式压力传感器 当动极板向上位移△δ时: 电容器C1的间隙61变为△; 电容器C2的间隙62变为60+△6 C=Co,△b

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