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2020-09-09 发布于湖北
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全面ENDURA结构介绍.ppt

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传输过程 .......... * 真空系统 .......... * .......... * .......... * .......... * Robot .......... * .......... * HP Robot Homing Routine .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * Loadlock .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * .......... * Differential Pumping Port .......... * Indexer Brake Present the cassette stage from falling in case of power failure .......... * ORIENT/DEGAS .......... * ORIENT工作原理 1.? Orienter Board发出信号通知系统开始找平边过程。 2.????? System Controller将有关圆片的尺寸型号等信息传递给Orienter Board。 3.??软件校准CCD Board，使得由激光管发出的光信号转换为数字信号。 .......... * 4??????? 步进电机带动圆片旋转，达到正常的转速后，则CPU开始读取CCD 中的信息（步进电机每转动四步读取一次）。 5?????? 信息储存在RAM中，直到完成3600的旋转。 6????? 软件分析数据，确定圆片的中心。 7?????? 校正圆片在chuck上的数据，最终确定原片的平边。 8????? 把圆片旋转到预定的角度上。 9.系统控制器获得圆片的中心和Wafer Chuck的中心后，指导ROBOT取片。 .......... * RF SYSTEM .......... * .......... * .......... * PVD chamber .......... * .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu ENDURA结构介绍 .......... * .......... * 供电系统 .......... * .......... * .......... * .......... * 其它部件的作用 Pump Frame提供反映所需的真空度 Cryo pump compressor提供HE给Cryo pump,保证冷泵正常工作 Heat exchange提供DI WATER，冷却PVD腔体以及Heater .......... * MAINFRAME上腔体构成 .......... * .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .