电子显微镜及其附属设备基本理与用途.pptVIP

电子显微镜及其附属设备 的结构、基本原理、 用途及其使用 方法  第一部分 透射式电子显微镜  碰时式电 组成:电子光学系统 高压系统;数据采集系统 电子控制系统;真空系统 等五大部分。  电子光学系统 电了枪部分电子枪、电子束 电子枪 接到高压发生装置 加速管 电子枪第1偏转线圈 了枪第2偏转线圈 加速管·偏转系统 加速线圈、透镜 阳极室隔离阀 第1聚光镜·线 聚光镜消像散线圈 领光载置 聚光镜第1偏转线圈 系统、物镜系统 测角台 镜小透镜(OM透镜)线圈 $m成像系统、消像 第2像平移线图 中间镜消像散线圈 中间统线大成像透镜系统 投影镜偏转线圈 投形线测 散系统、电子对 观察室隔离阀 双目显微镜 观察室和照相室 中系统等 片接收盒 照相室  真空系统 真空系统的组成:机械泵、扩散泵、离子泵、 真空管道、循环水系统等 IP 电子枪 镜筒 RP 照相室 DP  数据采集系统 数据采集系统包括:CCD数据采集系统、 PHOTO采集系统;  高压及其电源系统 ·高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束 发射枪、电源等  2透射电子显微镜的基本工作原理  电子光学系统 的工作原理 LaB6灯丝在高电压 Electon gun andl 的作用下,产生 5pct alpe col 束高能电子束。经 过透镜、物镜、消 CM lens col 像散等系统的调整, Specimen hodet Objectve lens Iner tube 形成一束近似平行 光的电子東,作用 rte ker sg 于试样。电子束与 tor lena beam defector 试样将发生各种各 样的作用。主要形 成透过电子、弹性 散射电子、非弹性 散射电子