基于表面等离激元与波导共振耦合的研究.pdfVIP

华东师范大学硕士学位论文 摘要 表面等离子体激元 （SPP ）是一种在金属表面区域的自由电子和光子相互作 用而形成的电磁振荡。由于其突破光的衍射极限，使得人们在亚波长尺寸上对电 磁场能量进行传导、分束和聚焦等操作，因此被广泛应用于光纤通讯、光学传感、 太阳能等领域。基于SPP 与波导（WG ）模式耦合的传感器凭借其高灵敏度和稳 定性是目前应用最多的一种探测器件。 目前，有关SPP 与WG 耦合的工作已有大量报道，但是缺少对两者耦合规 律的系统研究。当金属层和波导之间的耦合层厚度较大时，它们之间的耦合较弱， 表现为法诺共振；当中间层厚度低于某一临界值时，强耦合导致法诺共振相互作 用变化为杂化模式行为。基于这两种不同的耦合模式，本论文提出了一种双金属 层激发的SPP 与WG 模式耦合的传感器结构，主要研究如下： 研究了常用的多层平面波导结构并定义了SPP 与WG 耦合模式的耦合系数， 通过改变金属层厚度、双金属层配比以及耦合层厚度研究不同结构参数对耦合强 度的影响。提取了耦合系数、共振波长、半峰宽和传播常数差等物理参数，获得 了SPP 与WG 耦合规律，并最优化了Au/Ag 配比和金属层厚度等参数。 设计了一种新的双金属层激发的SPP 与WG 模式耦合的传感器结构模型， 使用传输矩阵方法计算了不同波导厚度和 Au/Ag 配比下体系的反射率曲线。利 用Fano 模型公式拟合了反射率曲线，获得了不同结构下的Fano 常数。系统分析 了Au/Ag 配比对Fano 共振峰位、耦合强度、半峰宽及Fano 常数的影响规律。 计算发现体系具有最优灵敏度的Au/Ag 配比是5/45 nm 。探讨了该结构在环境折 3 射率改变下的灵敏度和稳定性。研究发现：体系的灵敏度可达到 Smax=1.5×10 − 1 5 RIU ，FOM=1.4×10 。比已报道的结果高2-3 倍。 分析了单模和多模条件下金属 SPP 与WG 间的杂化模式行为。计算了有效 折射率、损耗和传播常数等物理量随耦合距离变化规律，通过对比不同间距下电 场分布，探讨了单模条件下体系从Fano 共振到杂化模式下的演化规律，初步界 定了不同共振模式的边界条件；进一步利用传输矩阵法和耦合模式理论研究了多 模条件下 SPP 和波导间的杂化模式随耦合层厚度变化的演化行为，使用模式损 I 耗参量来表征杂化模式中 SPP 分量所占比重，通过计算发现杂化激元模式演化 存在三个不同的演化阶段。模式间相互作用经历了从弱耦合到强耦合再到弱耦合 的变化过程，对应的耦合方式也从Fano 共振到超模叠加再到Fano 共振阶段。 关键词：表面等离激元、波导、法诺共振、耦合模式 Ⅱ 华东师范大学硕士学位论文 ABSTRACT Surface plasmon-polarition (SPP) is an electromagnetic oscillation formed by the interaction of free electrons and photons in the surface area of a metal. Because SPP breaks through diffraction limit of light, electromagnetic wave can be conducted, split and focused on the dimensions of subwavelength, SPP has widely used in optical fiber communication, optical sensing, solar energy and other fields. Among all researches, structure based on the coupling mode is the