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化学镀金工艺 化 学 镀 金 在 电 子 电 镀 中 占 有 重 要 地 位 ， 特 别 是 半 导 体 制 造 和 印 制 线 路 板 的 制 造 中 ，很 早 就 采 用 了 化 学 镀 金 工 艺 ，但 是 早 期 的 化 学 镀 金 由 于 不 是 真 正 意 义 上 的 催 化 还 原 镀 层 ， 只 是 置 换 性 化 学 镀 层 ， 因 此 镀 层 的 厚 度 是 不 能 满 足 工 艺 要 求 的 ，以 至 于 许 多 时 候 不 得 不 采 用 电 镀 的 方 法 来 获 得 厚 镀 层 。 随 着 电 子 产 品 向 小 型 化 和 微 型 化 发 展 ， 许 多 产 品 已 经 不 可 能 再 用 电 镀 的 方 法 来 进 行 加 工 制 造 ， 这 时 ， 开 发 可 以 自催 化 ‘的 化 学 镀 金 工 艺 就 成 为 一 个 重 要 的 技 术 课 题 。 (1) 氰 化 物 化 学 镀 金 为 了 获 得 稳 定 的 化 学 镀 金 液 ， 目 前 常 用 的 化 学 镀 金 采 用 的 是 氰 化 物 络 盐 。 一 种 可 以 有 较 高 沉 积 速 度 的 化 学 镀 金 工 艺 如 下 。 甲液 ： 氰化金钾 5g ／L EDTA 5g ／L 氰化钾 8g ／L 二氯化铅 0．5g ／L 柠檬酸钠 50g ／L 硫酸肼 2g ／L 乙 液 ： 硼氢化钠 200g ／L 氢氧化钠 l20g ／L 使 用 前 将 甲 液 和 乙 液 以 l0:1 的 比 例 混 合 ， 充 分 搅 拌 后 加 温 到 75 ℃ ， 即 可 以 工 作 。 注 意 镀 覆 过 程 中 也 要 不 断 搅 拌 。 这 一 种 化 学 镀 金 的 速 度 可 观 ， 30min 可 以 达 到 4 μm。 但 是 这 一 工 艺 中 采 用 了 铅 作 为 去 极 化 剂 来 提 高 镀 速 ， 这 在 现 代 电 子 制 造 中 是 不 允 许 的 ，研 究 表 明 ，钛 离 子 也 同 样 具 有 提 高 镀 速 的 精选文库 去 极 化 作 用 ， 因 此 ， 对 于 有 HORS要 求 的 电 子 产 品 ， 化 学 镀 金 要 用 无 铅 工 艺 ： 氰化金钾 4g ／L 硼氢化钠 5．4～10．8mg／L 氰化钾 6．5g ／L 温度 70～80℃ 氢氧化钾 ll ．2g ／L 沉积速度 2～ 10 μm／h 硫酸钛 5～ 100mg／L 如 果 进 一 步 提 高 镀 液 温 度 ， 还 可 以 获 得 更 高 的 沉 积 速 度 ， 但 是 这 时 镀 液 的 稳 定 性 也 会 急 剧 下 降 。为 了 能 够 在 提 高 镀 速 的 同 时 增 加 镀 液 的 稳 定 性 ，需 要 在 化 学 镀 金 液 中 加 入 一 些 稳 定 剂 ，在 硼 氢 化 物 为 还 原 剂 的 镀 液 中 常 用 的 稳 定 剂 有 EDTA、乙 醇 胺 ；还 有