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罗茨真空泵技术及装配 罗茨真空泵技术及装配 一、罗茨真空泵工作原理 一、罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵 （以下简称罗茨泵）是通过一对相互作用同步反向旋转的 “8”字形转子实 罗茨真空泵 （以下简称罗茨泵）是通过一对相互作用同步反向旋转的 “8”字形转子实 现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时，两个转子相互之间始终保持密封，从而确保排 现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时，两个转子相互之间始终保持密封，从而确保排 气口的气体不返流到进气口，以此实现抽气的功能。 气口的气体不返流到进气口，以此实现抽气的功能。 转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩 转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩 擦，罗茨泵能以每秒 1500~3000 转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑，另外，要保持罗 擦，罗茨泵能以每秒 1500~3000 转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑，另外，要保持罗 茨泵在高转速下平稳运行，要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间 茨泵在高转速下平稳运行，要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间 没有任何直接的接触，各运动部件之间均保持一定的间隙。 没有任何直接的接触，各运动部件之间均保持一定的间隙。 罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀，其作用是：当进排气口的压差达到一定值时， 罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀，其作用是：当进排气口的压差达到一定值时， 溢流阀就自动打开，排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口，这就大大降低了高 溢流阀就自动打开，排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口，这就大大降低了高 压差下罗茨泵和前级真空泵 （以下简称前级泵）的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大 压差下罗茨泵和前级真空泵 （以下简称前级泵）的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大 的泄流作用，可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载，并可以 的泄流作用，可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载，并可以 提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。 提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。 二、罗茨真空泵主要用途 二、罗茨真空泵主要用途 罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面，它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力 罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面，它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力 下的工作范围，具有小体积大抽速的特点，在 1~100pa 入口压力范围内具有大抽速，特别 下的工作范围，具有小体积大抽速的特点，在 1~100pa 入口压力范围内具有大抽速，特别 适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用，例如电力变压器、电力电容器、电力互 适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用，例如电力变压器、电力电容器、电力互 感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽，大 感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽，大 型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排气等等。 型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排气等等。