光学薄膜技术第二章课件.pptxVIP

典型膜系介绍 根据其作用可以将光学薄膜的类型简单的分为： 1、减反射膜或者叫增透膜 2、分束膜 3、反射膜 4、滤光片 5、其他特殊应用的薄膜 一. 减反射膜（增透膜） 在众多的光学系统中，一个相当重要的组成部分是镜片上能降低反射的镀膜。在很多应用领域中，增 透膜是不可缺少的，否则，无法达到应用的要求。 就拿一个由 18 块透镜组成的 35mm 的自动变焦的照 相机来说，假定每个玻璃和空气的界面有 4%的反射，没有增透的镜头光透过率为 23%，镀有一层膜（剩余 的反射为 1.3%）的镜头光透过率为 62.4%，镀多层膜（剩余的反射为 0.5%）的为 83.5%。 大功率激光系统要求某些元件有极低的表面反射，以避免敏感元件受到不需要的反射光的破坏。此外， 宽带增透膜可以提高象质量、色平衡和作用距离，而使系统的全部性能增强。 当光线从折射率为 n0 的介质射入折射率为 n1 的另一介质时，在两介质的分界面上就会产生光的反射， 如果介质没有吸收，分界面是一光学表面，光线又是垂直入射，则反射率 R 为：;单层减反射膜只能对某个波长和它附近的较窄波段内的光波起增透作用。 为了在较宽的光谱范围达到更有效的增透效果，常采用双层、三层甚至更多层数的减反射膜。 1.2 双层减反射膜 2 从上面晶体镀 MgF2 增透膜的例中可以看到，为了达到全增透的效果，ｎ０＝ｎ１ ／ｎ２，则要求将基底的 折射率 1.65 提高到 1.9（n1=1.38，n2=1.9）。 怎么办？ 先沉积一层折射率为 1.77 光学厚度为λ0/４的薄膜，而后再镀 MgF2 单层膜，就能达到全增透的要求。 常见的多层膜系统是玻璃—高折射率材料—低折射率材料—空气 ，简称 G︱HL︱A 系统 。H 层通常用二 氧化锆（ n＝2.1）、二氧化钛（n＝2.40）和硫化锌（n＝2.32） 等 ；L 层一般用氟化镁（n＝1.38）等。 1、双层λ0/4 膜堆 对于单层氟化镁膜来说，冕牌玻璃的折射率是太低了。为此，我们可以在玻璃基片上先镀一层λ0/4 厚 的、折射率为 n2 的薄膜，这时对于波长λ0 来说，薄膜和基片组合的系统可以用一折射率为Y= n22 /n3 的假 想基片来等价。 显然，当 n2＞n3 时，有 Y＞n3，也就是说，在玻璃基片上先镀一层高折射率的λ0/4 厚的膜层???，基片 的折射率从 n3 提高到n22/n3，然后再镀上λ0/4 厚的氟化镁膜就能起到更好的增透效果。构成λ0／4—λ0／ 4 型增透膜。 但对于偏离λ0 的波长，表面反射增加，反射率曲线呈 V 字形，所以也有把这种λ0/4－λ0/4 双层增透 膜称为 V 形膜的。 在限定两层膜的厚度都是λ0/4 的前提下，欲使波长λ0 的反射光减至零，它们的折射率应满足如下关系：;3;1、高反射波段非常宽阔，可以覆盖几乎全部光谱范围，当然，就每一种具体的金属而言，它都有自己最佳 的反射波段。 2、各种金属膜层与基底的附着能力有较大差距。如Al、Cr、Ni（镍）与玻璃附着牢固；而 Au、Ag 与玻璃 附着能力很差。 3、金属膜层的化学稳定性较差，易被环境气体腐蚀。 4、膜层软，易划伤。 金属膜材料的选择 铝：最常用，紫外、可见、红外 银：反射率最高，稳定性差 金：红外常用、稳定 铂、铑：稳定、牢固 2.2 多层介质高反射膜 p30 上一节所述的金属反射膜包含较大的吸收损失，对于高性能的多光束干涉仪中的反射膜以及激光器谐 振腔的反射镜，要求更高的反射率和尽可能小的吸收损失。在折射率为 ng 的基片上镀以光学厚度为λ0/4 的高折射率（n1）的膜层后，光线垂直入射的反射率为： 用高、低折射率交替的，每层λ0/4 厚的介质多层膜能够得到更高的反射率。这是因为从膜系所有界面 上反射的光束，当它们回到前表面时具有相同位相，从而产生相长干涉。对这样一组介质膜系，在理论上 可望得到十分接近于 100%的反射率。 如果 nH 和 nL 是高、低折射率层的折射率，并使介质膜系两边的最外层为高折射率层，其每层的厚度均为 λ0/4，当光束由空气中垂直入射时，中心波长λ0 的反射率，也即极大值反射率为;5;在某些光学系统中，由于平板分光镜的背面反射造成双像并引进像差，因此必须采用胶合立方体分光镜， 并且采用多层介质薄膜。对于结构如 G︱HLH︱G 这样的三层膜系统，nH=2.3; nL=1.38 时，它的中心波 长的反射率约为 50%，但是膜层具有强烈的选择性，反射光和透射光带有明显的色彩。;;8;;目的。我们在短波通滤光片主膜系的二侧加上匹配层，基底侧的匹 配层为 2H1.5L，而在空气侧加上 2L 匹配层，膜系可设计成： nG|2H1.5L15(2HL)2L|n0 nH =2.15 nL =1.46 nG =1.52 通带长波侧的次峰