南京理工大学本科科研训练开题报告-基于非晶材料的磁通门传感器设计(1).pdfVIP

南 京 理 工 大 学 本科生科研训练开题报告 学 生 姓 名： XXX 学 号： XXX XXX XXX XXX XXX 专 业 ： 测控技术与仪器 设计(论文)题目： 基于非晶材料的磁通门传感器设计 指 导 教 师 : XXX 2012 年 5 月 2 日 本科生科研训练开题报告 基于非晶材料的磁通门传感器设计 文献综述 一、研究背景 早在 2000 多年前，我们的祖先就利用物质的磁性发明了用于航海和测绘等方面的 指南针。随着社会的进步， 磁场测量技术作为研究与磁现象相关的物理过程的重要手段， 逐渐发展成一门综合的技术科学。其广泛应用于地磁观测、地震预报、空间磁场测量、 地质勘探等地球物理领域，而且在探矿、考古、飞行器姿态控制系统、惯性导航系统等 工业、军事、生物及医学领域应用广泛。 与此同时，磁场测量技术与不同领域的学科结合形成一些其他学科，如磁场测量在 化学中的应用形成了磁化学；磁场测量在地质中的应用形成磁法勘探学；磁场测量在探 伤中的应用形成磁探伤学；磁场测量在医学中的应用形成磁法医疗学。尤其重要的是， 磁场测量仪器广泛应用于大型物理实验仪器、高能加速器、离子束加工装置、热核聚变 装置、宇航等重大工程中。 在直流或缓变的弱磁场检测中，磁通门传感器具有宽的线性范围、较高的分辨力 和较高的灵敏度等特性，因而得到了广泛的应用。近年来，集成电路工艺和微机电 系统（ Micro-electro Mechanical Systems）技术的迅猛发展，推动了磁通门传感器由传统 的结构型向固化型的转变。半导体固态传感器由于其性能优异、体积小、重量轻且成本 低廉等优点，在国防及民用领域得到了非常广泛的应用。为适应地磁测量、空间探测、 卫星姿态控制等测控领域的需要，微型磁通门传感器已经引起了人们极大的关注。 研究和发展操作简单、稳定性好、精度高、成本低廉的磁测仪器有着十分深远的意 义。磁场测量技术涉及的原理广、测量范围也有所不同。与其他磁测仪器相比，磁通门 磁力计灵敏度高，制作成本低，可以测量单分量磁场及空间矢量场，并且有较大的测量 范围；与核磁共振地磁仪相比，磁通门磁力计有较好的稳定性；与光纤地磁仪相比，磁 通门磁力计对被测磁场更敏感，而且对振动和热量带来的磁场变化不敏感。 二、国内外研究情况 磁通门传感器是德国人在二十世纪三十年代首次发明的。长期以来，磁通门一直 是一种变压器式的结构 (由铁心、线圈和骨架组成 )。但近年来，微型磁通门的理论及 技术有了飞速的发展。 1990 年 Thomas Seitz研制出第一个微型磁通门传感器，它的铁 2 心是溅射到硅片上的软磁材料。利用光刻成型，尺寸大约为 2 ×4mm 。它的测量线圈 是用单层金属铝线做成的螺线管，激励线圈是用先进的厚膜技术制作在陶瓷基片上 的。随后日本的等人研制出了微型螺线管磁通门。自此以后，微型磁通门成了磁传感器 研究的焦点， 出现了各式各样的微型磁通门， 有的做在硅片上， 有的则印刷在电路板上。 在几十年的发展过程中，磁通门衍生出多个应用分支如磁通门罗盘计、三轴磁通门、数 字磁通门、快速傅里叶变换式磁通门及电流输出型磁通门等。 目前，国内外的磁通门产品大部分为偶次谐波型。国外的磁通门技术起步较早，其 产品也有着很高的研制水平。比如英国