4.2.2 电荷耦合与传输.pdf

4.2 CCD的电荷存储与耦合转移 4.2.2 电荷耦合与传输 电荷耦合与传输 CCD电荷耦合与传输 CCD是一行行紧密排列在硅衬底上的MOS 电容器列阵。它具有存贮 和转移信息的能力，故又称之为动态移位寄存器。 CCD的结构和工作原理示意图 CCD电荷耦合与传输 原理：利用电势阱移动信号电荷 实现方法：时序驱动脉冲 • 耗尽层的耦合 • CCD电荷传输原理 有缘学习更多+谓ygd3076考证资料或关注桃报：奉献教育（店铺） 耗尽层的耦合 当两个金属栅极彼此足够靠近时，其间隙下表面势将由两栅极上电 位决定，从而形成两个MOS 电容器下耗尽层的耦合， 使一个MOS 电容器中存储的信号电荷能转移到下一个MOS 电容器 中，通常电极间隙取0.1~0.2μm 。 CCD电荷传输原理 • 电荷包：势阱中存贮的自由电荷 • 电荷转移：利用耗尽层耦合的原理，将电荷包有规律地传输出 去－－通过控制相邻MOS 电容器栅压来调节势阱的深浅，使信 号电荷由势阱浅的位置流向势阱深的位置； • 转移要按照确定的方向：由不同相位上的电压脉冲按照严格的 时序被控制； • 转移要沿确定的路线：工艺设计时，要考虑好沟道和沟阻，电 荷转移通道为沟道，限制沟道的部分为沟阻。 有缘学习更多+谓ygd3076考证资料或关注桃报：奉献教育（店铺） 3 0 t t 4 CCD电荷传输原理 1 0 （e）  =−V 2 3 0 T 移动 移动 移动 移动  1 0 t -V 2 t -V