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MEMS压力传感器的应用 (姓名：XXX，学号：22013XXX) 摘要：MEM压力传感器在工业，医疗，汽车方面的应用。 关键词：集成电路、微机电加工、侵入式应用，汽车电子。 引言： MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS的市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势，可以测量各种物理量、化学量及生物量。接下来，我主要介绍一下其中的压力传感器。 压力传感器： MEM压力传感器的应用非常广泛。工业电子：工业配料称重、数字流量表以及数字压力表等等。消费电子：太阳能热水器用液位控制压力传感器、洗碗机、饮水机、洗衣机空调压力传感器，微波炉、健康秤以及血压计等等。汽车电子：柴油机的共轨压力传感器、汽车发动机的进气歧管压力传感器、汽车刹车系统的空气压力传感器以及发动机的机油压力传感器等等。我主要谈谈MEMS 压力传感器在汽车行业，医疗市场，工业领域这三个方面的应用。 应用于工业领域： MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调（HVAC）、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如，除了精确的高度气压测量，飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。 应用于汽车行业： 在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等