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- 2020-09-15 发布于天津
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单晶截断作业指导书篇一切断作业指导书篇二单晶拉制作业指导书新篇三单晶切割作业指导书篇四单晶作业指导书一取单晶准备准备好线手套耐温手套无尘纸准备好钢丝钳取单晶的小车用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净并保持整洁二拆炉取单晶待单晶冷却小时后关闭气然后提升单晶至副室从副室观察窗确认单晶升至所需高度待炉内压力到达极限真空后先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源然后进行检漏若无异常拧开小副室门四个螺栓打开副室氩气阀门查看副室压力表指针到位和副室小门可以被打开时才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门盖上隔离阀打开液压
单晶截断作业指导书
篇一:切断作业指导书
2
篇二:单晶拉制作业指导书 (新)
篇三:MB264单晶切割作业指导书
篇四:单晶作业指导书
一、 取单晶准备
1、 准备好线手套、耐咼温手套、无尘纸;
2、 准备好钢丝钳、取单晶的小车;
3、 用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净,并保持整
洁;
二、 拆炉取单晶
1、 待单晶冷却4小时后,关闭Ar气,然后提升单晶至副 室,从副室观察窗确认单晶升至
所需高度;
2、 待炉内压力到达极限真空后,先关闭主泵球阀后关闭真
空泵电源,然后进行检漏;
3、 若无异常,拧开小副室门四个螺栓, 打开副室氩气阀门,
查看副室压力表指针到 0位和
副室小门可以被打
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