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- 2020-09-17 发布于天津
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现代控制理论基础上机实验报告之一亚微米超精密车床震动控制系统的状态空间法设计院系航天学院专业姓名班号一指导教师哈尔滨工业大学年月日系统的工程背景及物理描述工程背景超精密机床是实现超精密加工的关键设备而环境振动又是影响超精密加工精度的重要因素为了充分隔离基础振动对超精密机床的影响目前国内外均采用空气弹簧作为隔振元件并取得了一定的效果但是这属于被动隔振这类隔振系统的固有频率一般在左右这种被动隔振方法难以满足超精密加工对隔振系统的要求为了解决这个问题有必要研究被动隔振和主动隔振控制相结合的混合控制技术
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现代控制理论基础
上机实验报告之一
亚微米超精密车床震动控制系统
的状态空间法设计
院系 航天学院
专业
姓名—
班号一
指导教师
哈尔滨工业大学
2014年05月14日
1.系统的工程背景及物理描述
(1) 工程背景
超精密机床是实现超精密加工的关键设备,而环境振动又是影响超精密加工 精度的重要因素。为了充分隔离基础振动对超精密机床的影响, 目前国内外均采
用空气弹簧作为隔振元件,并取得了一定的效果,但是这属于被动隔振,这类隔 振系统的固有频率一般在2Hz左右。
这种被动隔振方法难以满足超精密加工对隔振系统的要求。为了解
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