微加速度计的设计.pptVIP

st North University of China 微加速度计设计 中北大学微米纳米技术研究中心 Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement st North University of China 性能指标 1量程:0~Ag、0~Bg、0~Cg和0~Dg 2抗过载能力大于Mg 3频响范围:NHz Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement st North University of China 第一阶段知识的积累 Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement st North University of China 压阻式微加速度计的工作原理 压阻效应 以单晶硅为例,当压力作用在单晶硅上时,硅晶体的电阻 率发生显著变化的效应称为压阻效应。 工作原理 敏啦阻且 破璃 压阻式微传感器结构 Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement st North University of China 压敏电阻的相对变化量与应力的关系为 R △R =丌11+兀o1+兀