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MOCVD-Recipe管控规定(第二版).docVIP

MOCVD-Recipe管控规定(第二版).doc

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    合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 3/6 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 1/2 文件名称 MOCVD Recipe管控规定 文件编号 HL/DN-35-00-002-1.0 产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 2011.10.30 新发布 一、 目的 为明确公司MOCVD Recipe工艺

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