压电式传感器 1资料.pptVIP

在上图（ b ）中，电阻 R = R a R i /( R a + R i ), 电容 C = C c + C i ， 而 u a = q/C a ，若压电元件受正弦力 f = F m sin ωt 的作用，则 其电压为 t sin U t sin C dF U m a m a ? ? ? ? ? （ 5-6 ） 式中： U m ——压电元件输出电压幅值， U m = dF m / C a ；  d ——压电系数。 由此可得放大器输入端电压 U i ，其复数形式为 ) C C ( R j R j F d U a 33 i ? ? ? ? ? 1 ? ? (5-7) U i 的幅值 U im 为 . 2 2 2 1 ) C C C ( R R F d ) ( U i c a m 33 im ? ? ? ? ? ? ? 输入电压和作用力之间相位差为 ] R ) C C C ( arctan[ i c a ? ? ? ? ? ? ? 2 (5-8) (5-9) 在理想情况下，传感器的 R a 电阻值与前置放大器输入 电阻 R i 都为无限大，即 ω ( C a + C c + C i ) R 1 ，那么由式 （ 5-8 ）可知，理想情况下输入电压幅值 U im 为 i c a m im C C C F d U ? ? ? 33 上式表明前置放大器输入电压 U im 与频率无关，一般在 ω/ω 0 3 时，就可以认为 U im 与 ω 无关， ω 0 表示测量电 路时间常数之倒数，即 R ) C C C ( i c a ? ? ? 1 0 ? (5-10) 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当 作用于压电元件的力为静态力（ ω =0 ）时， 前置放大 器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电 阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用 于静态力的测量。 当 ω ( C a + C c + C i ) R 1 时，放大器输入电压 U im 如 式（ 5-10 ）所示，式中 C c 为连接电缆电容，当电缆长 度改变时， C c 也将改变，因而 U im 也随之变化。因此， 压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差。 5.3 压电式传感器的测量电路 ? 下图给出了一个电压放大器的具体电路。它具有很高 的输入阻抗(1000MΩ)和很低的输出阻抗(100?)，因 此使用该阻抗变换器可将高阻抗的压电传感器与一般 放大器匹配。 电压放大器 5.3 压电式传感器的测量电路 ? BG 1 为 MOS 场效应管，做阻抗变换， R 3 ≥ 100M?； BG 2 管对输入端形成负反馈，以进一步提高输入阻抗。 R 4 既是 BG 1 的源极接地电阻，也是 BG2 的负载电阻， R 4 上的交变电压通过 C 2 反馈到场效应管 BG 1 的输入端， 保证较高的交流输入阻抗。由 BG 1 构成的输入极，其 输入阻抗为 : ? 引进 BG 2 ，构成第二级对第一级负反馈后，其输入阻 抗为 : ? 式中 Au 是 BG 1 源极输出器的电压增益，其值接近 1 。 1 2 3 1 2 (5 11) i R R R R R R ? ? ? ? (5 12) 1 i if u R R A ? ? ? 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部 的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方 向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶 体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消， 压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈 中性，不具有压电性质。 5.1.2 压电陶瓷 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动， 趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。 外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方 向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度， 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时， 当外电场去掉后，电畴的极化方向基本没变化，即剩 余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 图 5-4 压电陶瓷的极化 (a) 未极化 ; (b) 电极化 ( a ) ( b ) 电场 方向 陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来， 即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚 电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸 附了一层来自外界 的自由电荷。这些自由 电荷与陶瓷片内的束缚 电荷符号相反而数量相 等，它屏蔽和抵消了陶 瓷片内极化强度对外界 的作用。 陶瓷片内束缚电荷与电极 上吸附的自由电荷示意图 极化方向 - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ 自由电荷 束缚电荷 电极 电极 - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力 F ，陶