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变极距型 电容传感器 工业测控仪表 自动化与电气工程学院 College of Automation and Electrical Engineering 授课教师：王轶卿 变极距型电容传感器 变极距型电容传感器原理及结构 变极距型电容传感器的应用 变极距型电容传感器测量电路 前沿科技与网络拓展阅读 2 复习：电容传感器工作原理 工作原理： 平板电容器，忽略边缘效应 S C d ? ? 式中 : ε 0 — 真空介电常数 ε r — 极板间介质的相对介电常数 ε — 电容极板间介质的介电常数； S — 两平行板所覆盖的有效面积； d — 两平行板之间的距离。 0 r ? ? ? ? 0 r S d ? ? ? 3 电容传感器的类型 S C d ? ? 变面积型 电容传感器 变介质型 电容传感器 变极距型 电容传感器 上一专题 4 一、变极距型电容传感器 C ? C 1 ? C 2 O ? d 1 ? d 2 C ? C 1 ? C 2 O ? d 1 ? d 2 d 初始极距 d 0 动极板 向下 移动 极距减小 Δ d 0 0 r d S C d d ? ? ? ? ? 0 0 0 d d C C C C k d d d d ? ? ? ? ? ? ? ? ? 灵敏度 非线性 动极板 d S r ? 定极板 d ? d 0 越小 测量范围 越小 灵敏度 越高 5 差动变极距型电容