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西安理工大学硕士学位论文
信号输出，同时研究了激振力大小和激振频率对多级结构摩擦面 TENG 信号输出特性的
影响规律。
通过系统研究，本文获得了微-微复合多级和微-纳复合多级结构摩擦表面，可以很好
的实现超疏水特性，广泛应用于固-液摩擦发电和固-固摩擦发电，得到高性能摩擦纳米发
电机，在能源收集和电子设备自供电方面具有广阔的应用前景。
关键词：摩擦纳米发电机；复合多级结构；超疏水特性；能源收集；电子设备自供电
II
目录
目 录
1 绪论 1
1.1 研究背景与意义 1
1.2 摩擦纳米发电机的基本原理4
1.2.1 摩擦纳米发电机的工作原理4
1.2.2 摩擦纳米发电机的工作模式 5
1.3 摩擦纳米发电机的研究现状6
1.4 主要研究内容与章节安排9
1.4.1 主要研究内容9
1.4.2 章节安排 10
2 微纳复合多级结构的可控制备 11
2.1 光学刻蚀工艺 11
2.2 微-微复合多级结构的可控制备 12
2.2.1 光刻制备微米次级结构 12
2.2.2 压印制备次级结构孔模具 14
2.2.3 二次光刻与模塑复形制备微-微复合多级结构 15
2.3 微-纳复合多级结构的可控制备 19
2.3.1 紫外固化制备次级纳米结构 19
2.3.2 双层胶光刻胶和模塑复形制备微-纳复合多级结构21
2.4 本章小结23
3 微纳复合多级结构亲疏水性能表征25
3.1 超疏水理论25
3.2 亲疏水表征装置28
3.3 多级结构表面亲疏水表征结果29
3.3.1 微-微复合多级结构亲疏水表征结果29
3.3.2 微-纳复合多级结构亲疏水表征结果34
3.4 本章小结35
4 固-液摩擦发电研究与性能表征37
4.1 固-液摩擦电荷传输37
4.1.1 摩擦层材料的选择37
4.1.2 固-液摩擦发电电荷流向分析37
4.2 固-液摩擦纳米发电机封装与测试平台搭建39
4.2.1 固-液摩擦纳米发电机器件封装39
I
西安理工大学硕士学位论文
4.2.2 固-液摩擦纳米发电测试平台搭建 40
4.3 固-液摩擦纳米发电机电信号输出 40
4.3.1 微-微复合多级结构摩擦纳米发电机信号输出 41
4.3.2 微-纳复合多级结构摩擦纳米发电机信号输出 43
4.4 本章小结 44
5. 固-固摩擦发电研究及性能表征 45
5.1 固-固摩擦电荷传输 45
5.1.1 摩擦层材料选择 45
5.1.2 固-固摩擦发电电荷流向分析 45
5.2 固-固摩擦纳米发电机封装与测试平台搭建 46
5.2.1 固-固摩擦纳米发电机器件封装 46
5.2.2 固-固摩擦纳米发电机测试装置搭建 47
5.3 固-固摩擦纳米发电机信号输出 47
5.4 本章小结 49
6 总
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