ESD静电敏感等级演示幻灯片.ppt

防靜電材料物品量測與靜 電敏感等級測試介紹 ESD 培訓系列教材之 QC 2010.08 2 教材大綱 一、防靜電材料物品時效性檢驗 二、靜電敏感等級測試介紹 1. 靜電放電模型 2. 設備的 ESD 實驗 3.SSD 料件的靜電敏感等級測試 3 防靜電材料物品時效性檢驗 防靜電材料物品技術性能與管理檢查項目 : 檢查頻率 項 目 名 稱 檢 查 方 式 環境溫度 測量 環境相對濕度 測量 腕帶系統電阻 測量 導電鞋 / 防靜電鞋束 測量 服裝、鞋、手套、腕帶、帽穿戴情況 目視 EPA 內靜電電位 測量 靜電源控制 檢查 EPA 總體要求 檢查 離子靜電消除系統 檢查測量 傳送帶對地系統電阻 測量 接地系統狀況 目視測量 工作臺 / 桌對地系統電阻 測量 EPA 標記情況 目視 環境潔凈度 測量 防靜電包裝使用要求 檢查 包裝容器防靜電性能 測量 工位器具、存放架、物流傳遞器具防靜電性能 測量 EPA 靜電源檢測 測量 手套、指套、帽、工具防靜電性能 測量 電氣設備（電動工具、氣動工具）、焊接設備、吸錫器接地情況 目視測量 墻壁、天花板系統電阻 測量 地板 / 地墊系統電阻 測量 地線接地電阻 測量 防雷要求 目視測量 每月檢查 防靜電劑 / 蠟性能 測量 半年檢查 工作服、窗簾防靜電性能 測量 人員培訓 檢查 EPA 驗收 檢查 每年檢查 半年檢查 每月檢查 每天檢查 4 靜電放電模型 一、人體放電模型（ HBM ， Human Body Model ） 1 ）理論介紹：這個測試模型表示放電從人體的指尖傳到器件上的導電管腳，該 模型通過一個開關組件，將充了電的 100pF 電容器，在待測器件和與之相串聯 的一個 1500Ω 電阻上放電。放電本身是有 2~10ns 上升時間，和大約 150ns 脉衝 寬度的雙重指數信號波形。使用 1500Ω 串聯電阻，意味著這個模型接近一個電 流源。所有的器件都應該視為 HBM 敏感器件。 2 ）電路圖及示意圖： 5 靜電放電模型 二、機器放電模型（ MM ， Machine Model ） 1 ）理論介紹：機器模型的損害主要來源，是能量迅速地從一個帶電的導體傳輸 到器件的導電管腳。這個放電模型是 200pF 電容直接對 500nH 電感放電，沒有 串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器，這個模型接近一個電壓源。在 現實中這個模型代表了物體之間的迅速放電，譬如帶電的電路板裝置，帶電 的線纜或一個自動測試的傳導手臂。放電本身是具有 5~8ns 上升時間和大約 80ns 周期的正弦衰減波形。 2 ）電路圖： 6 靜電放電模型 三、充電器件模型（ CDM ， Charged-Device Model ） 1 ）理論介紹：帶電器件模型損害的主要來源是能量從一個帶電器件迅速的釋放 。靜電放電完全與器件相關，但器件零電位面的相對距離，卻能影響實際的 失效水平。該模型假定，當帶電器件的導電管腳與具有較低電位的導體平面 接觸時，會發生迅速的放電。信號波形的上升時間經常小於 200μs ，整個放電 過程可能發生在少於 2.0ns 的時間里。 2 ）電路圖： 7 ANSI/ESD STM5.1-2007 介绍 美國國家標準 ANSI/ESD STM5.1 是國際通用的元件 HBM 模型靜電放電敏感度測試標準。 一、 HBM 模型靜電放電敏感度等級分類： 等級 閥值電壓 (V) 0 ＜ 250V 1A [250,500) 1B [500,1000) 1C [1000,2000) 2 [2000,4000) 3A [4000,8000) 3B ≧ 8000 二、必須的設備 1 ）人體模型靜電放電測試器 ESD 測試設備是一個符合標準要求的組合設備。。 2 ）波形驗證設備 設備能夠驗證本標準中脈衝波形，包括：一個示波器、二個評估負載、和一個電流感測器。 8 ANSI/ESD STM5.1-2007 介绍 三、設備和波形要求 6.1 設備校準 按照國家標準對全部的測試設備作校準，包括示波器、電流感測器和高壓電阻負載，最大的校準間隔時間為 一年。 6.2 測試器審查和再審查 HBM ESD 測試器的最初審查，應該按照交貨或第一次使用時的標準進行審查。 HBM ESD 測試器的再審查，應該按照製造者的建議執行，再審查測試的最大間隔時間是一年。 PS ：修理或者維護之後可能影響波形 , 此時需要對測試儀器作校正。 6.3 測試器波形記錄 新設備在最初審查時，需要對正、負極性的波形作記錄 9 ANSI/ESD STM5.1-2007 介绍 四、零件敏感等級測試要求和程式 1 ）靜電敏感等級測試要求 A. 測試之前、之中、之後始終對 DUT 採取完全的 ESD 防護措施 B. 使用短路線在 1000V 或測試電壓下對波