第七章 光栅传感器.ppt

第 7 章 光栅传感器 第 7 章 光栅传感器 7.1 光栅基础 7.2 光栅传感器的工作原理 7.3 莫尔条纹细分技术 7.4 常用光学系统 思考题与习题 第 7 章 光栅传感器 7.1 光栅基础 7.1.1 1. 光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理 光栅刻线细密，利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光 波长等的测量。在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅。 计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、 按其透射形式，光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。 刻划基面采用玻璃材料的为透射式光栅；刻划基面采用金属 第 7 章 光栅传感器 按其栅线形式，光栅可分为黑白光栅 ( 幅值光栅 ) 和闪耀 光栅 ( 相位光栅 ) 。黑白光栅是利用照相复制工艺加工而成的， 其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅的横断面呈锯齿状， 按其应用类型，光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅又 称为光栅尺，用于测量长度或线位移；圆光栅又称盘栅，用 于测量角度或角位移。长光栅有透射式和反射式两种，而且 均有黑白光栅和闪耀光栅；圆光栅一般只有透射式黑白光栅。 第 7 章 光栅传感器 2. 所谓光栅，是在刻划基面上等间距 ( 或不等间距 ) 地密集 刻划，使刻线处不透光，未刻线处透光，形成透光与不透光 相间排列构成的光电器件。光栅上的刻线称为栅线。栅线的 宽度为 a ，缝隙宽度为 b ，一般取 a = b ，而 w = a + b 称为栅距 ( 也 称为光栅常数或光栅节距，是光栅的重要参数，栅线密度用 每毫米长度内的栅线数表示，如 100 线／ mm 、 250 线／ mm) 。 圆光栅还有一个参数叫栅距角 γ 或节距角，它是指圆光栅上 相邻两条栅线的夹角。光栅的结构如图 7.1 第 7 章 光栅传感器 图 7.1 光栅的结构 第 7 章 光栅传感器 圆光栅有三种栅线形式：一种是径向光栅，其栅线的延 长线通过圆心；另一种是切向光栅，其栅线的延长线与光栅 盘的一个小同心圆相切；还有一种是其栅线为一簇等间距同 心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有 1080 ～ 64 800 条线。圆光栅栅线如图 7.2 图 7.2 圆光栅栅线 第 7 章 光栅传感器 7.1.2 计量光栅是利用莫尔现象来实现几何量的测量的。莫尔 条纹是由主光栅和指示光栅的遮光与透光效应形成的 ( 两只 光栅参数相同 ) 。主光栅用于满足测量范围及精度，指示光 栅 ( 通常是从主尺上裁截一段 ) 用于拾取信号。将主光栅与指 示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角 θ ， 这样就可以看到，在 a - a 线上两只光栅栅线彼此错开，光线 从缝隙中透过形成亮带，其透光部分是由一系列菱形图案构 成的；在 b - b 线上两只光栅栅线相互交叠，相互遮挡缝隙， 光线不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相间的条纹称为莫 尔条纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向近似垂直，因此该 莫尔条纹称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理如图 7.3 所示。 第 7 章 光栅传感器 图 7.3 莫尔条纹原理 第 7 章 光栅传感器 7.1.3 1. 位移放大作用 相邻两条莫尔条纹间距 B 与栅距 w 及两光栅夹角 θ 的关系 为 令 k 为放大系数，则 (7.1) (7.2) 第 7 章 光栅传感器 2. 由图 7.1 知，若光栅栅距为 w ，刻线数为 i ，移动距离为 x ， 则 x = i w (7.3) 将式 (7.3) 代入式 (7.1) 中，有 当 i 和 θ 一定时， B 与移动距离 x (7.4) 第 7 章 光栅传感器 3. 光栅在制作过程中必然会引入刻划误差。光电元件获取 的莫尔条纹是指示光栅覆盖区域刻线的综合结果，对刻划误 差有平均作用，从而能在很大程度上消除栅距的局部误差及 短周期误差的影响。这是光栅传感器精度高的一个重要原因。 刻划误差是随机误差。设单个栅距误差为 δ ，形成的莫 尔条纹区域内有 N 条刻线，则综合误差 Δ 为 (7.5) 第 7 章 光栅传感器 7.2 7.2.1 光栅传感器的光电转换系统由光源 1 、聚光镜 2 、光栅主 尺 3 、指示光栅 4 和光电元件 5 组成，如图 7.4( a ) 所示。当两块 光栅作相对移动时，光电元件上的光强随莫尔条纹移动而变 化，如图 7.4( b ) 所示。在 a 处，两光栅刻线不重叠，透过的光 强最大，光电元件输出的电信号也最大；在 c 处，光被遮去 一半，光强减小；在 b 处，光全被遮去而成全黑，光强为零。 若光栅继续移动，则透射到光电元件上的光强又逐渐增大， 因而形成图 7.4( c ) 第 7 章 光栅传感器 图 7.4 光电转换 第 7 章 光栅传感器 7.2.2 当光电元件 5 接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电