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光圈的识别 一 光学样板检验原理 当光学零件的被检表面和样板的工作表面（参考表面）相接触时，由于两者的面形不一致，产生一定的 空气隙，当波长为λ的光射到空气隙上，便形成等厚干涉条纹，如图 1-1 所示。 从等厚干涉知道，相邻两亮条纹之间空气隙厚度差近 似为λ /2，即通常所说的一个干涉条纹（光圈）相当于 空气隙厚度变化为λ /2，因此，光圈数为 N 部位所对应 S S1S2 的空气隙厚度变化为 N·λ /2。所以，光学零件的面形 I I 1 I 精度可以通过垂直位置观察到的干涉条纹的数量、 形状、 A B C D 颜色及其变化来确定。 （一）低光圈 表示样板与被检表面在边缘部位接触。 对于凸球面，则表示曲率半径大于样板的； 对于凹球面， 则表示曲率半径小于样板的；对于平面，则表示平面变 为凹球面。 图 光学样板检验光学零件面形的原理 高光圈 表示样板与被检表面在中间部位接触， 对于凸球面、则表示曲率半径小于样板的；对于凹球面，则表示曲率半径大于样板的；对于平面，则表示平面变成凸球面。 （二）被检光学表面在相互垂直方向上的曲率半径相对参考光学表面曲率半径的偏差不相等，称为象散偏差，以△ 1N 表示。这种偏差在相互垂直方向上的干涉条纹数量不等。 （三）被检光学表面的局部区域相对于参考光学表面的偏差，称为局部偏差，以△ 2N 表示。这种偏差在 任一方向上产生局部不规则的干涉条纹。 光学零件被检表面的局部偏差有以下几种基本类型： 中心低 被检光学表面的中心部位相对于平滑干涉条纹凹陷。 中心高 被检光学表面的中心部位相对于平滑干涉条纹凸起。 塌边 被检光学表面的边缘部位相对于平滑干涉条纹塌陷。 翘边 被检光学表面的边缘部位相对于平滑干涉条纹翘起。 此外，还有由几种上述的基本偏差综合而成的局部偏差。 二 光圈的识别 （一）光圈高、低的判断 1．周边加压法 低光圈 当空气隙减小时，条纹从边缘向中心移动，如图 1-2（a）所示。 高光圈 当空气隙减小时，条纹从中心向边缘移动，如图 1-2（b）所示。 2．色序法 当光圈数 N＞ 1，白光照明。 低光圈 从中心到边缘光圈的颜色序列为“蓝、红、黄” 。 高光圈 从中心到边缘光圈的颜色序列为“黄、红、蓝” 。 3．一侧加压法 当光圈数 N＜ 1。 低光圈 条纹弯曲的凹向背着加压点 A ，如图 1-3（a）所示。 第 1 页 共 5 页 高光圈 条纹弯曲的凹向背着加压点 A ，如图 1-3（b）所示。 P P A A (a) 低光圈 (b) 高光圈 (a) 低光圈 (b) 高光圈 图1-2 周边加压法判断光圈高低 图1-3 侧加压法判断光圈高低 （二）象散偏差的判断 在样板的相互垂直方向上作周边加压或一侧加压，当 N＞1 时光圈呈椭圆形；当 N＜1 两垂直方向上的 条纹弯曲度不同，则有象散偏差。 （三）局部偏差的判断 当一侧加压时： 中心低 条纹中心部位的弯曲凹向背着加点 A ，如图 1-4 所示。 A A A A (a) 低光圈中心低 (b) 高光圈中心低 (a) 低光圈中心高 (b) 高光圈中心高 中心高  条纹中心部位的弯曲凹向背着加点  A ，如图 1-5 所示。 塌边 翘边  图1-4 一侧加压法判断中心低条纹边缘部位塌向加压点 A ，如图 条纹边缘部位翘离加压点 A ，如图  1-6 所示。 1-7 所示。  图1-5 一侧加压法判断中心高 A A A A (a) 低光圈塌边 (b) 高光圈塌边 (a) 低光圈翘边 (b) 高光圈翘边 图1-6 一侧加压法判断塌边 图1-7 一侧加压法判断翘边 第 2 页 共 5 页 三 光圈的度量 (a) N=3 (b) N=2 (c) N=2 (d) N=1 图1-8 光圈数 N的度量 （一）光圈数的计算 1．当光圈数 N≥1 时 以有效检验范围内直径方向最多条纹数的一半来度量。 1-8 表示，在被检光学表面和参考光学表面仅有曲率半径偏差情况下，光圈数度量与表示偏差大小和方向的误差曲线。其中，虚线代表参考光学表面，曲线代表球面（或平面）相对于参考光学表面的偏差大小和方向，平行线间距代表λ /2。 当白光照明时，一般以红色条纹（因其颜色鲜明、波段宽、便于观察）出现的数目来计算光圈数（实际上按暗条纹计算光圈数时，由于半波损失多算了半道圈） 。 2．当光圈数 N＜1 时 （ 1）单色光照明时， 以通过直径方向上干涉条纹的弯曲量 h 相对于条纹 b Y 的间距 H 比值来度量，如图 1-9 所示。光圈数 N 为 N=h/H 。 计算时 应以两相邻条纹的中心距离作为条纹的间距，图中的条纹间距为 ae，条 纹的弯曲点 b、 c 应通过 Y-Y （或 X-X ）轴，条纹弯曲量为 ad，则 N= X a