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绪论导言自然界各种物体的尺寸可归纳为图即小可至原子分子和电子大则至宇宙其尺寸覆盖了从纳米到光年这样一个十分广阔的范围以往研究得最多的是人类感官所能触及的对象近几年来自然科学和工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进人们的注意力逐渐从宏观物体转向那些发生在小尺度和或快速过程中的现象及其相应器件上见图其中微电子机械系统尤其取得了巨大成功并正被拓展应用于各种工业过程这类系统指的是那些特征尺寸在以下但又大于卩的器件它集电子及机械元件于一身并且要通过集成电路制造中所采用的批量加工方法制成由图可见用用则庄丁
绪 论
1、导言
自然界各种物体的尺寸可归纳为图 1.1，即小可至原子、分子和电子，大则至宇宙，其
尺寸覆盖了从纳米（10-9 m）到光年这样一个十分广阔的范围。 以往研究得最多的是人类感官所
能触及的对象，近几年来自然科学和工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进， 人们的
注意力逐渐从宏观物体转向那些发生在小尺度和/或快速过程中的现象及其相应器件上 （见
图1.2）,其中微电子机械系统（MEMS尤其取得了巨大成功，并正被拓展应用于各种工业过 程。这类系统指的是那些特征尺寸在 lmm以下但又大于1卩m的器件，它集电子及机械元件
于一身，并且要通过集成电路制造中所采用的批量加工方法制成。由图
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