单元三：晶圆的制程与量测.docxVIP

晶圆的制造 1-1 什麽是晶圆 台湾目前是世界晶圆代工的重要国家，也 是半导体的制造与资讯工业产品 生产的大国，晶 圆(Wafer)是制造积体电路(Integrated Circuit, IC) 的基本材料，通 常 是由矽(Silicon, Si)或砷化傢(Gallium Arsenide, GaAs) 等 半导体(Semiconductor) 所组成，目前积体电路产业以矽晶圆为主。 矽晶圆是利用特殊的拉晶(Crystal Pulling)装置将熔化的纯矽，缓 慢旋转逐渐 拉升冷却以获得单晶(Crystal)结构的晶棒(In got)，如图1所示。矽晶棒再经过研 磨、抛光、切片，即成矽晶圆，如