现代材料分析方法第八章_表面分析技术.pptx

第八章 表面分析技术 ;第一节 X射线光电子能谱仪(XPS);一、概述 X射线光电子能谱（XPS，X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得表面成分信息的一种能谱。 XPS = ESCA 这种谱仪早期取名为化学分析电子能谱（ESCA ，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis），这一称谓仍在分析领域内广泛使用。;XPS是瑞典K.Siegbahn教授及其同事经近20年潜心研究，于六十年代中期研制开发的一种新型表面分析方法。 他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。 鉴于K. Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被授予1981年诺贝尔物理学奖。;概述;二、XPS原理;2、光电子的能量;实际的X射线光电子能谱仪中的能量关系为 其中ФS——谱仪的功函数，光电子逸出表面所需能量； A ——样品的功函数，光电子输运过程中因非弹性散射而损失的能量。;可见，当入射X射线能量一定，测出功函数和电子的动能，即可求出电子的结合能。 由于只有表面处的光电子才能从固体中逸出，因而