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第十三章 纳米测量学;背景： 纳米技术是二十世纪八十年代发展起来的新兴技术，被誉为二十一世纪信息革命的核心，二十一世纪的产业革命。 纳米材料的制备是纳米研究和应用的前提，而对纳米材料的测量又是纳米研究和应用的关键。因此纳米科技的出现和发展离不开纳米测量技术。现在纳米级测量技术主要有两个发展方向：光干涉测量技术、扫描显微测量技术。二十世纪末，由于压电转控器的出现，使机械探针的定位性增强。特别是随着STM和AFM的发明，相继出现了纳米分析、纳米测量和纳米探针等多种表征技术，使纳米的测量技术有了飞跃的发展。;2、纳米测量技术的研究大致分为两个方面： （1）应用与研制先进的测试仪器，解决物理和微细加工中的纳米测量问题，分析各种测试技术，提出改进的措施或新的方法； （2）从计量学的角度出发分析各种测试方法的特点，如：使用范围、精度等级、频率响应等。; ;;发展纳米测量科学有两个重要途径： 一.创造新的纳米测量技术、建立新原理、新方法。 此种途径发展较快，1984年Binnig和Rohrer首先研制成功扫描隧道显微镜(STM),为人类在纳米级乃至在原子级水平上研究物质的表面原子、分子的几何结构及与电子行为有关的物理、化学性质开辟了新的途径，因而获得了1985年诺贝尔物理学奖。 作为纳米测量强有力手段的SPM（扫描探针显微镜）技术,包括STM、AF