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PAGE PAGE 38 Centrotherm 扩散炉三级维修保养 作业指导书 目录 第一章 设备的基础知识………………………………………………………………...3 1.1.1、紧急停机、主电源开关3 1.1.2 、附属设施条件……………………………………...………………..…………..3 1.1.3、设备结构特征及附图…………………………………………………………….3 第二章 设备全员生产维.（TPM）6 第一节 TPM介绍6 2.1.1、TPM 名词术语释义6 2.1.2、TPM 的内容和特点6 2.1.3、TPM 的5S 活动8 2.1.4、TPM设备保养8 2.1.5、设备点检10 2.1.6、日常工具管理10 第二节 设备一级保养（日常维护项目）…………………...…………….11 2.2.1、设备卫生…………………………………………………………………….…...11 2.2.2、设备运行情况……………………………………………………………………12 第三节 设备二级保养（定期维护和调整项目）14 2.3.1、设备维护计划………………………………………………………………...…14 2.3.2、设备维护步骤…………………………………………………..……………….14 2.3.3、石英器件的维护………………………………………………….……………..17 2.3.4