洁净气体制备.pptVIP

1、洁净室(Clean Room) 是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细 菌等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一 需求范围内，而特别设计的房间。 不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先 所设定要求的洁净度、温湿度及压力等。 洁净室最主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触 的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空 间中生产、制造。 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准 209为多。 209E表示单位采用公制单位，超净间等级以｀M′字头 表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推。M字母后 之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≥0.5μm的微尘粒子数 目字以10的幂次方表示，取指数，若微尘粒子数介于前后 二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 M2级：每立方米中微尘粒子总数102个； M2.5级：每立方米中微尘粒子总数102～103个之间。 日本以0.1μm微粒子为计数标准。 日本标准表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class 8 表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。 Class 5：每立方米中微尘粒子总数105 个， 超净间为