曝光机要点技术幻灯片.ppt

团队、速度、品质 C hallenge with F ull heart ?#? Team 、 Speed 、 Quality Text C 报告者 : 沐俊应 日 期 :2010.01.28 曝光机要素技术 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? ? 曝光过程简介 ? 曝光 Recipe 详细项目 ? 曝光工艺要素 内 容 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? 曝光过程简介 LD PA Stage 进入 Gap 调整 Align 曝光 Stage 排出 ULD 曝光 Cycle ? 曝光 Cycle 显影机 曝光机 Loader 洗净机 Coater BM BGR PS Unloader Post bake BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? 曝光过程简介 ? PA 过程 ? 先在 CP (Cooling Plate) 上进行 PA (Pre-alignment) ? 再用精密 Robot 将基板转移到曝光 stage 上 ? CP Stage 上有 CP/ 异物感知 Sensor (Scan)/ PA 三个功能 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? 曝光过程简介 ? Gap 控制 ? Gap 检出开始位置： glass 与 mask 之间的 gap:700 ? ? Gap 控制后，误差范围 :10 ? 以内 ? 露光 Gap:100~300um BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? 曝光过程简介 ? Alignment ? 根据 Photo Mask 和 Glass 的 Alignment Mark 图像，计算 Mark 的相对位置 ? 移动 Alignment Stage 或 Photo Mask 的位置补正 使 Mask Mark 中心与 Glass Mark 中心相吻合。 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? 椭圆 Mirror : 对 Lamp 的光进行集光 超高压 水银 Lamp 平面 Mirror1 : 改变光的路 径 ? 超高压 水银 Lamp : 16KW , 对波长为 365nm_PR 有反应的波长带 ? 椭圆 Mirror : 集中 Lamp 的光 用平面 Mirror 反射 ? 平面 Mirror1, 2, 3 : 使光的路径发生改变 用球面 Mirror 进行反射 ? Fly eye lens : 使照度和光变均一 ? 球面 Mirror : 用平行光调整光的路径 ? UV 光路系统 曝光过程简介 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? ? UV Lamp 管理 曝光过程简介 项目 定功率 Mode 定照度 Mode 电压 vs.. 照度 Mode 说明 为了将电压维持在一定程度， 补正照度的 mode 为了将照度维持在一定程度， 补正电压的 mode 曝光时间 随着时间的推移，曝光时间变长 曝光时间一定， 但电压达到限定值时，变成定电压 Mode 优点 因为使用一定的电压，因此 lamp 使用寿 命相对长 曝光量无改变要求的话，曝光时间是相 对固定的 缺点 为了得到固定的曝光量，需要连续不断 地延长曝光时间，因此导致 tact time 延 长 为了得到固定的曝光量，需要提高电压， 因此 lamp 的寿命不会长 Time 照度 功率 Time 功率 照度 ? 曝光量 = 照度×时间 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart ?#? ? 用 Border Shutter 控制露光 Area ? 用 Border Shutter 减小 Gray Zone 遮光 Area 露 光 Area Aperture X2 Aperture X1 Aperture Y1 Aperture Y2 AREA shutter Glass 光的 扩散 成分 Gray Zone 形成 Border shutter 光 ? 曝光 Area 控制 曝光过程简介 BOE HF Color Filter C hallenge with F ull heart