原子力显微镜的资料.ppt

原子力显微镜  目录 1.简介信息 2.基本原理 3硬件架构 4.分类 5.操作说明 6.优点缺点 7.常见问题 8样品要求 9.应用举例 10.应用领域  、简介信息 AFM是由G. Binning在STM的基础上于1986年发明的表面观 测仪器。 AFM= Atomic Force Microscope(原子力显微镜)。原子 力显微镜与扫描隧道显微镜相比,由于能观测非导电样品, 因此具有更为广泛的适用性。当前在科学研究和工业界广 泛使用的扫描力显微镜( Scanning Force Microscope) 其基础就是原子力显微镜  二、基本原理 当原子间距离减小到一定程度以后,原子间的作用力将迅 速上升。因此,由显微探针受力的大小就可以直接换算出 样品表面的高度,从而获得样品表面形貌的信息。 将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微 小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖尖端原子 与样品表面原子间存在极微弱的作用力,通过在扫描时控 制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品 表面原子间作用力的等位画而在垂直于样品的表面方向起 伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法,可测得微悬 臂对应于扫描各点的位置变化,从而可以获得样品表面形 貌的信息。  工作原理图 设置点 反射镜 激光 觉悬背 光电探测 舒处一 显示茶统 样品 反馈控制 压电扫 描 控制系统 原子力显徽镜的工作原埋图  以激光检测原子力显微镜AFM 二极管激光器发出的激光束经过 光学系统聚焦在微悬臂背面,并从 微悬臂背面反射到由光电二极管构 成的光斑位置检测器。在样品扫描 微急臂 时,由于样品表面的原子与微悬臂 探针尖端的原子间的相互作用力 微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起 伏,反射光束也将随之偏移,因而, 通过光电二极管检测光斑位置的变 化,就能获得被测样品表面形貌的 信息。  在系统检测成像全过程中 探针和被测样品间的距离始终 检溴器 保持在纳米量级,距离太大不 激光器 能获得样品表面的信息,距离 太小会损伤探针和被测样品 微悬臂 反馈回路在工作过程中,由探 针得到探针样品相互作用的强 度,来改变加在样品扫描器的 伸缩,调节探针和被测样品间 的距离,反过来控制探针-样品 相互作用的强度,实现反馈控 制。反馈控制是本系统的核心 工作机制。  原子力显微镜与扫描隧道显微镜最大的差 别在于并非利用电子隧道效应,而是利用 原子之间的范德华力作用来呈现样品的表 排斥部分 面特性。 r=25 假设两个原子中,一个是在悬臂的探针尖 端,另一个是在样本的表面,它们之间的 作用力会随距离的改变而变化,其作用力 非接触 与距离的关系如图所示。 原子 原子 当原子与原子很接近时,彼此电子云斥力原子 排斥力 吸引力 的作用大于原子核与电子云之间的吸引力 原子 作用,所以整个合力表现为斥力的作用, 反之若两原子分开有一定距离时,其电子 云斥力的作用小于彼此原子核与电子云之 间的吸引力作用,故整个合力表现为引力 的作用  三、原子力显微镜的硬件架构 在原子力显微镜( Atomic Force Microscopy,AFM) 的系统中,可分成三个部分:力检测部分、位置检测部分、 反馈系统。 3.1力检测部分 在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原 子与原子之的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂 ( cantilever)来检测原子之间力的变化量。这微小悬臂有 定的规格,例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形 状,而这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模式 的不同,而选择不同类型的探针。