国内外管式PECVD设备的主要性能比较.pdfVIP

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2020-10-30 发布于浙江
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国内外管式PECVD设备的主要性能比较.pdf

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国内外主流太阳能电池管式PECVD设备的主要比较项目主要技术差异比较捷佳伟创PD-305 PECVD Centrotherm PECVD-320 国内某所PECVD 说明片内 ±5% 片内 ±5% 片内 ±5% 良好的设备处理能力，确保工艺的一 1 工艺指标片间 ±5% 片间 ±5% 片间 ±6% 致性。批间 ±5% 批间 ±5% 批间 ±7% 125 ×125mm 196片/舟 125 ×125mm 196片/舟 125 ×125mm 168片/舟现有装片量的工艺是目前工艺最合适 2 装片量 156 ×156mm 144片/舟 156 ×156mm 144片/舟 156 ×156mm 144片/舟、效果最优化的。 3 控温 5段外置 5段控温的Profiling T/C （内置） 5段外置影响硅片反应区域的温度的控制 VAT 自动压力调节阀+MKS薄膜规 VAT 自动压力调节阀+MKS薄膜规 PECVD的压力控制对于最终的工艺结果 4 压力控制国产压力调节系统进行自动闭环压力控制进行自动闭环压力控制具有重要的作用与意义双SiC悬臂杆送取舟，工艺舟软着 SiC悬臂杆避免带入金属离子，对工艺 5 工艺舟软着陆双SiC悬臂杆送取舟，工艺舟软着陆金属杆送取舟，工艺舟软着陆陆更有帮助。对于PECVD来说，精确的工艺控制需要有精确的控制部件来实现。高精度的 6 流量控制采用了高精度数字质量流量计采用了高精度数字流量计仍然使用模拟流量计，精度不高数字MFC控制精度大大优于传统模拟 MFC，抗干扰性能也大大提高。无数字控制，基本为模拟量控控制理念的差别：数字控制可以有效完全采用数字模块控制，每管独立完全采用数字模块控制，多管集中 7 数字控制制，每管独立控制，触摸显示器避免干扰、独立控制可有效防止多管控制，触控工业平板计